Di fasiliti pengeluaran, kestabilan bahan photoresist bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan syarat asas yang perlu dipenuhi. Sebarang perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pembakaran akan menyebabkan perubahan pada dimensi kritikal bahan tersebut. Pemanas yang tidak mampu mengekalkan suhu yang ditetapkan dalam keadaan beban sebenar akan menyebabkan pembaziran bahan dan gangguan operasi yang tidak dijangka. Kami telah mencipta pemanas ini untuk memastikan suhu bahan photoresist dan pelarut tetap stabil.
Yang penting ialah kawalan dan kebersihan. Kami menggunakan elemen inframerah gelombang pendek yang terletak dalam selongsong kuarsa – elemen ini mempunyai jisim yang rendah dan masa tindak balas yang cepat, sehingga suhu dapat dikawal dengan tepat. Pemanas ini mampu mengekalkan keseragaman suhu pada tahap wafer pada kadar ±0.1°C, dan algoritma kawalan pula memastikan suhu tetap stabil pada kadar ±0.2°C, setiap hari.
Permukaan pemanas ini diperbuat daripada keluli tahan karat jenis 316L yang telah diproses secara elektropolish, dengan port pengudaraan argon yang berterusan. Ini memastikan tiada zarah berbahaya terbentuk, sekaligus memastikan suasana di dalam bilik bersih berada pada tahap Class 1–100. Kepadatan tenaga pemanas disesuaikan mengikut saiz bilik dan kadar penggunaannya. Pemanas ini menggunakan voltan standard 240 VAC, dan saiznya sesuai untuk dipasang dalam ruang yang sempit.
Dalam proses litografi, pemanas ini membantu mengekalkan suhu botol berisi bahan photoresist serta saluran pengedaran bahan tersebut pada suhu yang tepat, agar viskositas bahan tersebut tetap stabil dan profil lapisan yang dihasilkan dapat diramalkan dengan tepat. Apabila suhu bahan tersebut stabil, proses pembakaran akan lebih konsisten, sekali gus mengurangkan risiko kesilapan dan keperluan untuk melakukan kerja ulangan.
Penggunaan tenaga pemanas disesuaikan mengikut keadaan pemanasan atau tidak aktif, agar kos operasi dapat dikurangkan tanpa menjejaskan kelajuan tindak balas pemanas. Kebolehpercayaan pemanas ini diukur melalui kadar penggunaannya yang tinggi; elemen pemanas ini mampu menangani perubahan suhu yang kerap tanpa mengganggu prestasinya.
Beberapa perkara praktikal perlu diambil kira. Pemanas ini direka untuk digunakan bersama udara kering yang telah disaring, atau udara inert. Jika anda berhadapan dengan kelembapan yang tinggi atau suasana yang penuh dengan pelarut, anda memerlukan sistem penapisan tambahan serta saluran pengudaraan yang efektif.
Pemasangan pemanas ini agak mudah, tetapi butiran teknikalnya sangat penting – gesper penutup dan struktur saluran pengudaraan perlu disesuaikan dengan sistem yang ada agar tekanan dapat dikawal dengan baik. Pastikan voltan dan saiz pemanas sesuai dengan sistem yang ada, agar bracket pemasangan dan sensor dapat dipasang dengan tepat.