Lampu pemanas untuk menghilangkan kelembapan pada wafer
Di bilik pengeluaran wafer, kelembapan yang terperangkap—sama ada dalam bahan fotoresist atau pada permukaan wafer itu sendiri— akan merosakkan...
Lampu untuk menghilangkan kelembapan pada wafer
Semasa proses pengeringan, wafer dikeluarkan daripada cecair pembersih, dan masa mula berjalan. Sebarang kelembapan yang masih ada akan menyebabkan...