Verwarmingslamp voor vochtverwijdering uit wafer
Op de productielijn kan vocht dat zich in de fotoresistent of op het oppervlak van de wafer bevindt, de benodigde precisiedimensies na de belichting...
Lamp voor het verwijderen van vocht uit wafers
Op het werkvlak komt de wafer uit het reinigingsproces tevoorschijn en begint de tijd te lopen. Eventuele restanten van vocht zorgen voor problemen...