На этапе литографии процедура выпечки не является просто способом разогрева пластины – это сам процесс обработки. Изменение температуры на 2°C во время мягкой выпечки может изменить значение Tg фоторезиста; кроме того, неравномерность температуры во время жесткой выпечки приводит к возникновению недостатков в виде избыточной толщины слоя фоторезиста и изменения ширины линий на пластине. Необходим контроль температуры, на котором можно полагаться, а не такой, который основан на удаче.
Что действительно важно с технической точки зрения: Мы используем высокоточный инфракрасный датчик, который обеспечивает стабильную температуру на поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Повторяемость результатов остается в пределах ±0,05°C от партии к партии. Датчик предназначен для использования в чистых помещениях класса 1–100 и не создает никаких частиц. Кварцевый/галогеновый источник света обеспечивает стабильный и повторяемый сигнал в инфракрасном диапазоне без возникновения «горячих точек». Система позволяет контролировать температуру при выпечке фоторезиста в диапазоне от 90°C до 250°C. Система рассчитана на круглосуточную работу без перерывов.
Почему это работает на производстве: На практике мягкая выпечка всегда приводит к одинаковому результату при каждой обработке. Жесткая выпечка позволяет сохранять стабильные параметры процесса без их выхода за заданные границы. Благодаря этому качество литографии улучшается, поскольку температурные условия остаются стабильными. Это позволяет сократить количество некачественных изделий и ускорить процесс производства. Также снижается потребление энергии, поскольку процесс выпечки настроен под химические свойства фоторезиста, а не на основе угадываний.
Что необходимо знать: Для корректной работы системы необходимо соответствие геометрии платформы для выпечки и эмиссивности источника света. Мы предоставляем комплект для калибровки и чек-лист для проверки работоспособности системы за 30 минут. На начальном этапе может потребоваться некоторое время на настройку, но после этого процесс становится более стабильным. Для обеспечения максимальной стабильности необходимо следить за чистотой датчика и проводить профилактическое обслуживание.