
ในระหว่างกระบวนการผลิต ตัวจัดการเวลาจะไม่รอให้เครื่องทำความร้อนทำงานเสร็จก่อน ห้อง CVD จำเป็นต้องมีอุณหภูมิที่คงที่ทันทีที่มีการกำหนดค่าไว้ หากอุณหภูมิไม่ถึงค่าที่กำหนด ก็จะส่งผลให้ความหนาของชั้นฟิล์มเปลี่ยนแปลง และทำให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลง
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราออกแบบเครื่องทำความร้อน CVD นี้ให้ทำงานได้อย่างสม่ำเสมอในทุกครั้งที่ใช้งาน หลอดไฟแบบควอตซ์-ฮาโลเจนมีความสามารถในการตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว ทำให้สามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ภายในช่วง ±0.1°C ตัวควบคุมจะรักษาค่าอุณหภูมิที่กำหนดไว้ โดยไม่มีการเกินค่าที่กำหนด ดังนั้นจึงไม่มีการสูญเสียพลังงานไปกับห้องหรือชั้นฟิล์ม
คุณสมบัติที่สำคัญของห้องผลิต ห้องผลิตที่มีคุณภาพดีจะมีวัสดุที่ไม่ปล่อยก๊าซออกมา มีระบบป้องกันการรั่วไหลของก๊าซ และมีพื้นผิวที่ช่วยลดการเกิดอนุภาคต่างๆ ผลลัพธ์ก็คือการสร้างชั้นฟิล์มที่มีคุณภาพสม่ำเสมอในทุกครั้งที่ผลิต
เหตุใดเครื่องนี้จึงเหมาะสำหรับโรงงานที่ทำงาน 24 ชั่วโมง ในโรงงานที่ทำงาน 24 ชั่วโมง ความน่าเชื่อถือของเครื่องจักรมีความสำคัญมาก เครื่องทำความร้อนนี้ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่อง โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด มีข้อมูลจากการใช้งานจริงที่แสดงให้เห็นว่าเครื่องนี้สามารถทำงานได้หลายพันชั่วโมงโดยมีอุณหภูมิที่คงที่และสามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำ
ข้อมูลที่ควรรู้เกี่ยวกับการติดตั้ง การติดตั้งต้องคำนึงถึงปัจจัยด้านอุณหภูมิและระยะห่างต่างๆ ด้วย เครื่องทำความร้อนนี้สามารถติดตั้งได้อย่างง่ายดาย แต่อินเทอร์เฟซของห้องและรูปร่างของส่วนที่รับความร้อนต้องเหมาะสมกับขนาดที่กำหนดไว้ มิฉะนั้นก็จะไม่สามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้
ขั้นตอนการตั้งค่า จะมีขั้นตอนการตั้งค่าที่ง่าย เพื่อปรับค่า PID ให้เหมาะสมกับความดันในห้องและสภาพของก๊าซที่ใช้ เมื่อตั้งค่าเสร็จแล้ว เครื่องก็จะทำงานตามที่กำหนดไว้ โดยไม่จำเป็นต้องมีการปรับแต่งอะไรเพิ่มเติม