
Akıllı üretim tesislerinizde UHP kızılötesi ısıtma sistemlerinin etkili bir şekilde kullanılması
Eğer bir yarıiletken üretim tesisi işletiyorsanız, UHP ısıtıcı lambaların termal enerji sağlamada ne kadar önemli olduğunu zaten biliyorsunuzdur. Ancak hepimiz “Endüstri 4.0” teknolojilerine doğru ilerledikçe, asıl mesele sadece ısı üretimi değil; ısının ne kadar hızlı kontrol edilebileceğidir.
Eski tip dirençli ısıtma sistemlerinden yüksek verimliliğe sahip kızılötesi ısıtma sistemlerine geçmek, veri işleme ve tepki süreleri açısından büyük bir adımdır.
Kızılötesi ısıtmanın avantajları
Kızılötesi ışınların avantajı şudur: Doğrudan etki ederler. Lamba ile wafer arasında aracı olan hiçbir unsur yoktur; hava veya gaz gibi bir boşluk da bulunmaz. Bu lambalar, malzemenizin emmesini istediği belirli dalga boylarını hedef alacak şekilde tasarlanmıştır. Sonuç olarak, ısıyı neredeyse anında artırabilir veya azaltabilirsiniz. Eğer PLC cihazınız gücü gerçek zamanlı olarak ayarlayabiliyorsa, o zaman o korkulan ısı dengesizliklerinden endişelenmenize gerek kalmaz. Her şey sorunsuz çalışır.
Yüksek kaliteli malzemeler
Bu lambalar için yüksek kaliteli sentetik kuvars kullanıyoruz; çünkü gaz salınımı büyük bir sorundur. Camda küçük bir safsızlık bile tüm wafer serisini bozabilir. Bu tür hatalar ancak bir kez yapılır. Ayrıca yüksek güç kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü yer maliyeti oldukça yüksektir. Daha küçük alanlarda daha fazla ısı üretmek istiyoruz.
Kablaj kısmı oldukça basittir, ancak güç oldukça yüksektir. Yüksek güçlü sistemler kullanıyorsanız, güç kaynaklarınızın voltaj dalgalanmalarını karşılayabileceğinden emin olun. Aksi takdirde istediğiniz ±1°C stabilitesine ulaşamazsınız.
Sorun: Isı ile soğutma arasındaki denge
Burada bir denge sorunu vardır. Yüksek çıkışlı kızılötesi lambalar çok fazla atık ısı üretir. Elbette waferler ihtiyaç duydukları ısıyı alır, ancak vakum odasının duvarları ve contaları zarar görür. Bu lambaları eski sistemlere takıp en iyisini ummak mümkün değildir. Soğutma sistemlerine ve ısı değiştiricilere dikkat etmelisiniz. Eğer çevresel yükleri kontrol edemezseniz, odanın geometrisi bozulur. Bu durum ofiste keyifli bir gün geçirmenizi engeller.
Avantajlar: Artık her bir waferin ne kadar enerji aldığını tam olarak takip edebilirsiniz. Bu veriler dijital sistemlere aktarılır ve böylece ısı, rastgele bir maliyet olmaktan çıkıp ölçülebilir ve yönetilebilir bir değer haline gelir.