لیتھوگرافی کے عمل میں، “بیکنگ” کوئی وارم اپ عمل نہیں ہے؛ بلکہ یہ دراصل اصل پروسس ہی ہے۔
جب سافٹ بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں 2°C کی تبدیلی ہوتی ہے، تو فوٹوریزسٹ کا Tg قدر میں تبدیل ہو جاتا ہے، اور ہارڈ بیکنگ کے دوران بھی غیر یکساںیاں پیدا ہو جاتی ہیں، جس کی وجہ سے کناروں پر رنگ کی تغیرات اور لائنوں کی چوڑائی میں تغیرات پیدا ہوتے ہیں۔ لہذا، درجہ حرارت کو منظم کرنا ضروری ہے؛ کوئی ایسا نظام استعمال نہیں کیا جاسکتا جس پر بھروسہ نہ کیا جاسکے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم ویفر پر ایک درستگی سے کام کرنے والا IR سینسر استعمال کرتے ہیں؛ یہ سینسر ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر برقرار رکھتا ہے، اور مختلف بیچوں میں یہ درجہ حرارت ±0.05°C کے اندر ہی رہتا ہے۔ سینسر کا ڈیزائن کلاس 1–100 کے صاف کمروں کے لئے مناسب ہے، اور اس سے کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا۔ کوارٹز/ہیلوجن ایمیٹر سے مستحکم اور قابل تکرار NIR آؤٹ پٹ حاصل ہوتا ہے؛ کوئی “ہاٹ اسپاٹ” نہیں ہوتا۔
یہ سسٹم 90°C سے 250°C تک کے درجہ حرارتوں پر فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کا کام کرتا ہے، اور اس کا درجہ حرارت بہت مضبوطی سے کنٹرول کیا جاتا ہے۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرنے کے لئے بنایا گیا ہے، تاکہ کوئی غیر متوقع وقفہ نہ پڑے۔
فیکٹری میں یہ سسٹم کیوں کامیاب ہے؟
عملی طور پر، سافٹ بیکنگ ہر بار فوٹوریزسٹ کو ایک ہی طرح تیار کرتا ہے۔ ہارڈ بیکنگ سے پروفائل میں کوئی تغیر نہیں آتا۔ چونکہ درجہ حرارت کنٹرول میں رہتا ہے، اس لئے لیتھوگرافی کا عمل بہتر ہوتا ہے۔
اس سسٹم کی بدولت کم تعداد میں ٹیسٹنگ کی ضرورت پڑتی ہے، فضول مال کی بچت ہوتی ہے، اور عمل کا وقت بھی کم ہو جاتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیونکہ بیکنگ کا عمل فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کے مطابق ہی کیا جاتا ہے، نہ کہ قیاسات کی بنیاد پر۔
آپ کو کون سی باتیں جاننے کی ضرورت ہے؟
انسٹالیشن کے دوران، بیکنگ پلیٹ کی ساخت اور ایمیشن کی خصوصیات کو مناسب بنانا ضروری ہے۔ ہم کیلیبریشن کٹ اور 30 منٹ کی چیک لسٹ بھی فراہم کرتے ہیں۔
پرانے سسٹموں میں سیٹ اپ کا وقت تھوڑا زیادہ لگتا ہے، لیکن جب یہ سسٹم ٹھیک ہو جاتا ہے، تو عمل میں کوئی رکاوٹ نہیں رہتی۔
بہترین استحکام کے لئے، سینسر کے آس پاس کوئی غیر ضروری چیز نہ رہنے دیں، اور بنیادی دیکھ بھال کے دوران اس کی صفائی کو یقینی بنائیں۔