阻止碎片飞溅：为何冲洗工序需要防水型红外灯
如果你的红外灯在冲洗过程中发生过爆炸，那你肯定知道那有多糟糕。那简直就是一场噩梦——不仅是设备损坏的问题，还会导致玻璃碎片和化学残留物散落在晶圆上。这无疑会带来立即且昂贵的二次污染问题。
我们厌倦了这种情况的反复发生，因此设计了真正耐用的防水型红外灯。
热冲击问题
问题在于：当水滴击中高温的石英管时，该处的温度会瞬间下降。这就是热冲击现象。它会导致一些肉眼无法看到的微小裂纹。而在高负荷生产情况下，这些裂纹会逐渐扩大，最终导致石英管破裂。
为了解决这个问题，我们采用了特殊的石英材料。这种材料的热膨胀系数较低，也就是说，它能够承受潮湿环境带来的压力而不会出现裂纹。它的抗应力能力更强。
防止水分进入
在潮湿环境中，普通的灯简直就像一颗定时炸弹。我们在灯具的末端加上了密封装置，从而防止水分进入电气接触点。这样一来，就不会再有电弧产生，也不会有灯具过早损坏的情况。
此外，还有水垢问题。如果你曾经使用过这类灯具，就会知道水中的矿物质会在石英管上形成“热点”。这些热点会破坏热量分布，最终导致石英管损坏。我们对灯具的外表面进行了处理，以防止水垢形成。这样，热量就能均匀地分布在晶圆上。
几点需要注意的事项
当然，没有什么是完美的。由于我们加入了防水结构，所以灯具的隔热性能有所提升。不过，其反应速度会比普通石英管稍慢一些。不过这并不是什么大问题，如果你需要精确控制温度的话，只需调整PID设置即可。
最棒的是，这些灯具可以直接替换现有的冲洗用灯具。只要确保你的电源能够承受防水型灯具的功率要求，就不会出现电路故障的问题。