阻止碎片飞溅：为何冲洗工序需要防水型红外灯 如果你的红外灯在冲洗过程中发生过爆炸，那你肯定知道那有多糟糕。那简直就是一场噩梦——不仅是设备损坏的问题，还会导致玻璃碎片和化学残留物散落在晶圆上。这无疑会带来立即且昂贵的二次污染问题。 我们厌倦了这种情况的反复发生，因此设计了真正耐用的防水型红外灯。...

在300mm线上的湿晶圆 放置的湿晶圆意味着生产线停滞。残留的水分会在光刻之前导致条纹、颗粒和良率损失。我们在冲洗后构建了一个快速干燥模块，将冲洗到干燥的交接转变为一个受控的热步骤，而不是一次盲目的尝试。 底层原理 我们在石英-卤素设置中使用短波和中波红外线，快速释放能量，同时保持光谱紧凑，以避免...