CVD 化学气相沉积 加热器

在运行过程中，调度器不会等待加热器达到设定温度。CVD反应室需要在配方要求的瞬间就具备稳定的温度。即使温度偏差只有1度，也会导致薄膜厚度不稳定、应力变化，进而影响产品的合格率。 关键在于其内部结构 我们设计的这款CVD加热器能够始终保持稳定的性能。石英卤素灯阵列响应迅速，因此可以在±0.1°C的范...