用于晶圆的精确红外传感器

在光刻工艺中，烘烤过程并非简单的预热步骤，而是一个至关重要的工序。如果软烘烤时的温度变化达到2°C，就会导致光阻材料的玻璃化转变温度发生改变；而硬烘烤过程中的温度不均匀性则会导致边缘尺寸和线宽出现偏差。因此，必须要有精确的温度控制机制，而不能依赖运气。 从技术角度来看，什么是最重要的？ 我们在晶圆...