晶圆除湿加热灯

在芯片制造过程中，如果光阻层或晶圆表面存在水分，那么在曝光之后，这些水分就会破坏芯片的关键尺寸。如果不把水分去除掉，就会导致晶圆表面出现瑕疵、污渍以及蚀刻残留物，从而使得整批产品都无法使用。因此，我们使用了专门的除湿加热灯——它能够消除因晶圆表面潮湿而带来的问题。 核心优势 这款加热灯的设计注重快...