ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায়, তাপন প্রক্রিয়াটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ; এর উপরই উৎপাদনের মান ও প্রক্রিয়ার গতি নির্ভর করে। কয়েক ডিগ্রির তাপমাত্রা পরিবর্তন, ওয়েফারের কোনো নির্দিষ্ট অংশে তাপ বেশি হলে, লাইনওয়েডথে পরিবর্তন ঘটে; আবার দ্রবণও অবশিষ্ট থেকে যায়। আপনার দরকার হলো এমন তাপ, যা দ্রুত প্রয়োগ করা যায়, নির্দিষ্ট জায়গায় থাকে, এবং কোনো ধরনের অপ্রয়োজনীয় কণা বা বিরতি ছাড়াই কাজ করে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা আমাদের সেমিকন্ডাক্টর ইনফ্রারেড হিটিং ল্যাম্পটি শর্ট-ওয়েভ NIR ভিত্তিতে তৈরি করেছি; কারণ এটি শক্তিকে সরাসরি ফটোরেসিস্ট ও সাবস্ট্রেটে পাঠায়, কোনো ব্যাঘাত ছাড়াই। এই সিস্টেমটি ওয়েফারের তাপমাত্রাকে ±0.1°C এর মধ্যে রাখে; ফলে বিভিন্ন লটের মধ্যে তাপীয় স্থিতিশীলতা বজায় থাকে।
৫,০০০+ ঘন্টা ধরে এর আউটপুট স্থিতিশীল থাকে; কমপক্ষে ৫% এরও কম হ্রাস হয়। ফলে আপনাকে প্রতিবার ওয়েফার পরিবর্তন করার দরকার হয় না। এটি ক্লাস ১ থেকে ক্লাস ১০০ পর্যন্ত সব ধরনের ক্লিনরুমে ব্যবহার করা যায়; কাজ চলাকালীন কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না।
লিথোগ্রাফিতে এর কার্যকারিতা কেন?
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় এই ল্যাম্পটি দ্রুত তাপ প্রয়োগ করতে সাহায্য করে; ফলে সফট বেক ও হার্ড বেক উভয় প্রক্রিয়াতেই উপযোগী। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা সহজ হয়; ফলে কাজের সময় কমে যায়, আর CD ও উৎপাদনের মান ঠিক থাকে।
শক্তি ব্যবহারও কম হয়; কারণ তাপ শুধুমাত্র প্রক্রিয়ার প্রয়োজনেই উৎপন্ন হয়, এবং শুধুমাত্র প্রক্রিয়ার অঞ্চলেই থাকে। ফলে কম রিপ্লেসমেন্ট দরকার হয়, আর অপ্রত্যাশিত বন্ধ হওয়ার ঘটনাও কমে যায়।
কোন বিষয়গুলো ঠিক রাখা দরকার?
ইনস্টলেশনের সময় ল্যাম্পটিকে চেম্বারের জ্যামিতি ও টুলের থার্মাল কন্ট্রোল ইন্টারফেসের সাথে মিলিয়ে নেওয়া দরকার। আপনি একটি স্পষ্ট ওয়্যারিং প্ল্যান পাবেন; কিন্তু অ্যালাইনমেন্ট টলারেন্স ও কুলিং ব্যবস্থা নিশ্চিত করার আগেই সিদ্ধান্ত নেওয়া উচিত।
ল্যাম্পটি সঠিকভাবে কাজ করে যখন রিফ্লেক্টর পথটি পরিষ্কার থাকে এবং পাওয়ার সাপ্লাইটি নিয়ন্ত্রিত থাকে। যেসব পরিবেশে অধিক কণা বা ভোল্টেজ সমস্যা থাকে, সেখানে নিয়মিত রক্ষণাবেক্ষণ ও কন্ডিশনিং প্রয়োজন; ফলে প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে চলে।