چرا ایستگاههای تابش مادون قرمز، روش استفاده از هوای داغ را در فرآیندهای نیمههادی برتری میدهند؟
اگر هنوز از روش گردش هوای داغ برای فرآیندهای پردازش عمیق استفاده میکنید، در واقع زمان زیادی را صرف انتظار میکنید.
فکر کنید: هوا یک رسانای بسیار ضعیف است. شما مجبورید انرژی زیادی را صرف گرم کردن این مقدار گاز کنید؛ در حالی که این گرما حتی به سطح ویفر شما نمیرسد. این روش بسیار آهسته است.
ایستگاههای تابش مادون قرمز، این مشکل را حل میکنند؛ آنها انرژی را مستقیماً به سطح ویفر منتقل میکنند، بدون نیاز به استفاده از هوای داغ.
راز استفاده از کاپهای سرامیکی
وقتی با چنین دماهای بالایی کار میکنید، نقطهای که سیمهای الکتریکی به لوله کوارتز متصل میشوند، مشکلات زیادی ایجاد میکند. اگر مراقب نباشید، نشت حرارتی میتواند باعث خرابی لوازم شود. این وضعیت، روز خوبی برای کار نخواهد بود.
به همین دلیل از کاپهای سرامیکی استفاده میکنیم؛ آنها به عنوان سپر عمل کرده و عایقبندی لازم را فراهم میکنند تا گرما در جای مناسب خود باقی بماند. این کار باعث میشود گرما فقط روی سطح ایستگاه تابش ماند و از کانکتورها دور بماند.
سرعت و فضای مورد نیاز
تفاوت سرعت بین این دو روش بسیار زیاد است. سیستمهای مادون قرمز، در عرض چند ثانیه به دمای مورد نیاز میرسند؛ در حالی که برای روش هوای داغ، نیاز به دقایق زیادی برای رسیدن به دمای مطلوب وجود دارد. این موضوع برای کسانی که از این سیستمها استفاده میکنند، به معنای زمان کمتر برای راهاندازی و سرعت بیشتر در فرآیندهای پردازش است.
علاوه بر این، فضای مورد نیاز برای نصب این سیستمها کاهش مییابد؛ شما میتوانید از بلواردهای بزرگ و سیستمهای پیچیده برای انتقال هوا استفاده نکنید. ما این سیستمها را برای داشتن تراکم انرژی بالا طراحی کردهایم؛ بنابراین میتوانید گرما را دقیقاً در جایی که فرآیند نیاز دارد، قرار دهید. دیگر نیازی نیست انرژی زیادی را صرف گرم کردن کل محفظه برای گرم کردن یک نقطه خاص کنید.
معایب (چون هیچ چیز کامل نیست)
نمیخواهم بگویم که استفاده از ایستگاههای تابش مادون قرمز راه حل جادویی است؛ اما چیزهایی وجود دارد که باید مراقب آنها باشید.
از آنجایی که تابش این سیستمها بسیار شدید است، بازتابندهها باید دقیقاً در جای خود قرار داشته باشند. اگر آنها دچار اختلال شوند یا فرسوده شوند، نقاط سردی روی ویفر ایجاد خواهد شد.
همچنین، به دلیل افزایش سریع دما، فشار زیادی بر روی اتصالات بین کوارتز و سرامیک وارد میشود. نمیتوانید به راحتی گرما را افزایش دهید؛ باید نرخ افزایش دما را کنترل کنید. در غیر این صورت، خطر شوک حرارتی و خرابی زودهنگام وجود دارد.