متوقف کنید این مشکلات را: چرا دوره شستشو نیاز به لامپهای مادون قرمز ضدآب دارد؟
اگر تا به حال شاهد پارگی لامپ مادون قرمز در حین دوره شستشو بودهاید، خوب میدانید که اوضاع چقدر بد میشود. این واقعاً یک کابوس است؛ شما نه تنها با یک قطعه خراب روبرو هستید، بلکه با تکههای شیشهای و مواد شیمیایی در سراسر ویفرها نیز روبرو میشوید. این موضوع منجر به آلودگی فوری و پرهزینه میشود.
ما از دیدن این مشکلات خسته شدیم، بنابراین لامپهای مادون قرمز ضدآبی ساختیم که واقعاً میتوانند در شرایط سخت مقاومت کنند.
مشکلات مربوط به آب
مشکل اینجاست که قطرات آب به لولههای کوارتز گرم برخورد میکنند و دمای آن نقطه به سرعت کاهش مییابد. این همان شوک حرارتی است؛ این امر باعث ایجاد ترکهای ریزی میشود که حتی قابل مشاهده نیستند. اما وقتی که تولید در حجم بالا انجام میشود، این ترکها بزرگتر میشوند و در نهایت لوله میترکد.
برای رفع این مشکل، از ترکیبات ویژهای از کوارتز استفاده کردیم؛ این ترکیبات ضریب انبساط حرارتی کمتری دارند، یعنی میتوانند در برابر رطوبت مقاومت کنند.
جلوگیری از ورود آب
لامپهای معمولی در محیطهای مرطوب، در واقع مانند بمبهای زمانی عمل میکنند. ما سیستم اتصالات ضدآبی در اطراف لامپ اضافه کردیم تا از ورود رطوبت به تماسهای الکتریکی جلوگیری شود. دیگر هیچ مشکلی در زمینه اتصالات الکتریکی وجود ندارد.
همچنین، مشکل تشکیل رسوبات نیز وجود دارد؛ اگر تا به حال از این لامپها استفاده کردهاید، میدانید که رسوبات ناشی از آب باعث ایجاد «نقاط گرم» روی لوله میشود. این نقاط باعث اختلال در توزیع حرارت میشوند و در نهایت باعث خرابی کوارتز میشوند. ما سطح خارجی لامپ را طوری تغییر دادیم که از تشکیل رسوبات جلوگیری شود؛ این کار باعث میشود حرارت به طور یکنواخت در سراسر ویفر توزیع شود.
نکاتی که باید در نظر داشت
هیچ چیز کامل نیست؛ به دلیل وجود سیستم ضدآب، یک لایه اضافی از عایقبندی وجود دارد. متوجه خواهید شد که پاسخ حرارتی لامپ کمی کندتر است؛ اما این موضوع مشکلی ایجاد نمیکند. اگر نیاز به کنترل دقیق دما دارید، باید تنظیمات PID لامپ را تغییر دهید.
بهترین نکته این است که این لامپها قابل جایگزینی هستند؛ میتوانند به راحتی در سیستمهای شستشوی فعلی شما نصب شوند. فقط مطمئن شوید که منبع تغذیه شما میتواند توان لامپهای ضدآب را تحمل کند، تا در زمان افزایش توان لامپ، مشکلی پیش نیاید.