Lorsque l’on sèche les wafer des capteurs MEMS après un nettoyage chimique, on marche sur une corde raide. Il faut de la chaleur intense pour accomplir cette tâche, mais cela se fait juste à côté de solvants inflammables. Un faux mouvement suffit pour créer un problème sérieux.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes à rayonnement infrarouge à courte longueur d’onde. Elles projettent une chaleur intense et rapide sur les wafer, ce qui permet de faire évaporer les liquides avant même que le reste du substrat ne s’échauffe trop.
Gérer les dangers La principale préoccupation dans un système de nettoyage chimique est bien sûr l’incendie. Nous ne comptons pas uniquement sur le fait que l’équipement soit « sûr » – nous mettons en place des barrières protectrices.
Nous plaçons les lampes à rayonnement infrarouge à l’intérieur de tubes en quartz ou en saphir scellés. Cela agit comme une coque protectrice qui éloigne ces vapeurs inflammables du filament en tungstène chaud. Nous scellons également les fils électriques avec des résines résistantes aux produits chimiques. L’objectif est de fermer tous les interstices par où les gaz pourraient s’infiltrer.
La chaleur et le flux d’air Ces chauffeurs sont conçus pour atteindre une température précise. Le rayonnement infrarouge à courte longueur d’onde permet d’évaporer instantanément les résidus liquides.
C’est très efficace. Mais il y a un problème : il faut un système d’évacuation efficace. Si le flux d’air est insuffisant, les produits chimiques évaporés restent autour du chauffeur. Il ne faut pas laisser cela se produire.
Assurer le fonctionnement continu Personne ne veut passer son après-midi à démonter une chambre de séchage simplement parce qu’une ampoule est grillée. Nous avons conçu ces unités de manière modulaire, avec des connecteurs standards, afin que le remplacement d’une ampoule endommagée soit rapide et simple.
Nous utilisons également du quartz renforcé. Il peut supporter les fluctuations thermiques liées au chauffage et au refroidissement rapide sans se fissurer. Assurez-vous simplement que l’alimentation électrique soit filtrée. Une fluctuation de tension peut rapidement endommager le filament, et c’est un problème dont personne ne veut.