בתהליך הליתוגרפיה, החימום אינו רק שלב הכנה – זהו חלק בלתי נפרד מהתהליך עצמו. שינוי של 2°C במהלך החימום עלול לגרום לשינוי בנקודת ההתכה של הפוטורזיסט; בנוסף, חוסר אחידות בחימום עלול לגרום לבעיות כמו עיוותים בקצוות החומר ושינויים ברוחב הקווים. יש צורך בשליטה מדויקת בטמפרטורה, ולא רק בניסיון להסתמך על מזל.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בחיישן אינפרא-אדום מדויק שמאפשר שליטה בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C על פני כל שטח החימום. החיישן מתאים לשימוש בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, והוא מיועד לייצור נתונים אמינים לחלוטין – ללא נקודות חמות. החיישן מאפשר שליטה מדויקת בטמפרטורה בטווח של 90°C עד 250°C, והמערכת מיועדת לפעולה 24/7 ללא הפרעות.
למה זה עובד במפעל? בפועל, החימום הרך גורם לחומר הפוטורזיסט להגיע לאותו מצב בכל פעם שהוא עובר תהליך החימום. החימום החזק, לעומת זאת, מאפשר שליטה מדויקת בטמפרטורה, וכך התוצאות של התהליך הליתוגרפי טובות יותר. כך ניתן להשתמש בכמויות קטנות יותר של חומר, להפחית את הבזבוז, ולקצר את זמן העיבוד. גם צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהחימום מותאם לתכונות הכימיות של הפוטורזיסט, ולא על סמך השערות.
מה באמת חשוב לדעת? ההתקנה כוללת התאמה של גאומטריית המשטח שעליו מתבצע החימום לבין רמת הפליטה של החומר. אנו מספקים ערכת כיול ורשימת בדיקה לאינטגרציה של המערכת, שנמשכת 30 דקות. ייתכן שיהיה עלייה קלה בזמן ההכנה, אך לאחר ההתאמה, התהליך יהיה יעיל יותר. לשם שמירה על יציבות מרבית, יש לוודא שהחיישן נקי משאריות, וזאת במסגרת התחזוקה המונעת.