リソグラフィー工程において、ベイク処理というのは単なるウォームアップではありません。それは実際の工程そのものです。ソフトベイク時の2℃程度の温度変動でも、フォトレジストのTg値が変わってしまいます。また、ハードベイク時には不均一性が生じ、エッジ部分や線幅に問題が出ます。信頼できる温度制御が必要であり、運に任せるような方法ではダメです。
技術的に重要な点 私たちはウェーハ上に高精度なIRセンサーを搭載しており、ベイク処理中のウェーハ全体の温度を±0.1℃以内に保ちます。さらに、ロット間の再現性も±0.05℃以内に抑えられています。このセンサーはクラス1～100のクリーンルーム環境に適応し、粒子を発生させないように設計されています。石英/ハロゲン式の発光体を使用しているため、安定したNIR信号が得られ、ホットスポットもありません。90℃から250℃までの範囲でフォトレジストのベイク処理を行え、厳格な温度管理が可能です。また、このシステムは24時間365日稼働できるように設計されています。
なぜ工場で効果的か 実際には、ソフトベイクによって毎回同じ条件でフォトレジストが準備されます。ハードベイクによっては、過剰な加熱を防ぎ、一定のパターンが維持されます。温度履歴が一定であるため、リソグラフィーの精度が向上します。その結果、試作品の数が減り、廃棄物も減少し、サイクルタイムも短縮されます。また、ベイク処理の条件がフォトレジストの特性に合わせて調整されているため、エネルギー消費も削減されます。
知っておくべきこと 設置時には、ベイクプレートの形状や発光体の放射率を正しく合わせる必要があります。当社では校正キットや30分間のチェックリストを提供しています。既存の装置を使う場合、設定に少し時間がかかりますが、一度調整すれば、工程の安定性が向上します。最良の安定性を得るためには、センサーの周辺に残留物がないようにし、定期点検時に清潔さを確認する必要があります。