なぜ半導体製造においてIRエミッターがホットエアより優れているのか もし、依然としてディーププロセッシングにホットエアを利用しているのであれば、実質的に多くの時間を待つことに費やしていることになります。 考えてみてください。空気はひどい伝導体です。ウェハーに熱が届く前に、大量のガスを加熱するために...

私たちが製造するアルミニウム製の反射型赤外線ランプは、実際の工業現場で使われるものです。つまり、厳しい環境下での使用に耐えられるように設計されています。高ワット数の赤外線ランプを使用する際には、必要なタイミングで即座に熱が発生することが求められます。また、電気的安全性も最優先事項です。そのため、1...

リソグラフィー工程において、ベイク処理というのは単なるウォームアップではありません。それは実際の工程そのものです。ソフトベイク時の2℃程度の温度変動でも、フォトレジストのTg値が変わってしまいます。また、ハードベイク時には不均一性が生じ、エッジ部分や線幅に問題が出ます。信頼できる温度制御が必要であ...