MEMSセンサウェーハ乾燥ヒーター

化学的な洗浄処理の後でMEMSセンサーワークを乾燥させる際には、非常に細心の注意が必要です。作業を行うには強力な熱が必要ですが、その作業は可燃性の溶剤のすぐ近くで行われます。少しでも間違えると、深刻な問題が発生します。 だからこそ、私たちは短波長の赤外線ランプを使用しています。このランプは、ウェハ...