化学的な洗浄処理の後でMEMSセンサーワークを乾燥させる際には、非常に細心の注意が必要です。作業を行うには強力な熱が必要ですが、その作業は可燃性の溶剤のすぐ近くで行われます。少しでも間違えると、深刻な問題が発生します。
だからこそ、私たちは短波長の赤外線ランプを使用しています。このランプは、ウェハーに素早く強力な熱を与えることで、基板の他の部分が過熱する前に液体をすばやく乾燥させます。
危険への対処 化学的な洗浄処理では、火災が最も大きな懸念事項です。単に機器が「安全である」と信頼するだけではなく、実際に壁を設けて保護しています。
赤外線ランプは密閉された石英やサファイア製のチューブの中に収められています。これは、可燃性の蒸気を高温のタングステンフィラメントから遠ざけるための保護シェルのようなものです。また、配線も耐薬品性の高い樹脂で密封されています。つまり、ガスが入り込む可能性のあるすべての隙間を封じるのです。
熱と空気の流れ これらのヒーターは、特定の温度範囲で動作するように設計されています。短波長の赤外線は液体の残留物を瞬時に蒸気に変えます。
しかし、問題点もあります。それは、十分な排気システムが必要だということです。もし空気の流れが悪ければ、蒸発した化学物質がヒーターの周辺に留まってしまいます。そんなことが起こってはいけません。
装置の維持管理 誰も、電球が壊れただけで乾燥室を分解するなんてことはしたくありません。そのため、私たちは標準的なコネクタを使って装置をモジュール化しており、壊れたランプを交換するのも簡単で楽です。
また、強化された石英を使用しています。これにより、急速な加熱や冷却による「熱衝撃」にも耐えられます。ただし、電源にはフィルターを装着する必要があります。突然の電圧の上昇はフィラメントを破壊する最速の方法です。それは避けたいことです。