Tijdens het bakproces is het van cruciaal belang dat de temperatuur nauwkeurig wordt geregeld. Een klein verschil in temperatuur of een hot spot op het wafer kan leiden tot afwijkingen in de dikte van de laag die wordt gevormd, of tot het achterblijven van oplosmiddelen. Wat nodig is, is een warmtestraling die snel op temperatuur komt, precies op de juiste plek terechtkomt en daarna stabiel blijft – zonder dat er schadelijke deeltjes worden gegenereerd of dat er tijd verloren gaat door storingen.
Wat er echt toe doet We hebben onze infraroodverwarmingslamp ontworpen voor gebruik met kortegolflengte-infraroodlicht. Hierdoor wordt de energie rechtstreeks in de fotoresist en het substraat gebracht, zonder dat dit invloed heeft op de kwaliteit van het proces. Het systeem houdt de temperatuur op het wafer op een niveau van ±0,1°C en zorgt voor voldoende herhaalbaarheid, zodat de thermische condities consistent blijven.
De uitgangstemperatuur blijft gedurende meer dan 5.000 uur stabiel, met minder dan 5% daling. Hierdoor hoeft u de instellingen niet steeds aan te passen tussen verschillende wafers. Bovendien is de lamp geschikt voor gebruik in cleanrooms van klasse 1 tot 100. Tijdens het gebruik worden geen deeltjes gegenereerd.
Waarom het werkt in de lithografieprocesen Deze lamp zorgt voor een snelle temperatuurstijging en een stabiele temperatuur, wat essentieel is voor zowel het zachte als het harde bakproces. De temperatuurprofielen zijn zo geoptimaliseerd dat ze overeenkomen met de chemische eigenschappen van de fotoresist en het substraat. Hierdoor kan de baktijd worden verkort, zonder dat de kwaliteit van het product wordt beïnvloed.
Ook wordt de energieverbruik verminderd, omdat de warmte alleen wordt gegenereerd wanneer dat nodig is en dat de warmte zich beperkt tot de proceszone. Hierdoor zijn er minder reparaties nodig en verdwijnen onverwachte stilstanden, omdat de temperatuurregeling betrouwbaar is.
Praktische details die belangrijk zijn Voor de installatie moet de lamp worden aangepast aan de geometrie van de kamers en de thermische controlefuncties van het apparaat. U krijgt een duidelijk schema van de aansluitingen, maar u moet eerst controleren of de toleranties en koelingsmogelijkheden voldoen aan de eisen.
De lamp werkt optimaal wanneer de reflectoren schoon blijven en de stroomvoorziening stabiel is. In omgevingen waar veel deeltjes aanwezig zijn of waar de spanning varieert, is het belangrijk om regelmatig onderhoud uit te voeren. Dit zorgt ervoor dat de procescondities altijd stabiel blijven.