На производственной линии пластинка выходит из устройства для промывки, и начинается процесс сушки. Любой оставшийся влаги приводит к появлению нежелательных эффектов в виде наличия капель воды на поверхности пленки, образования мостиков между частицами пленки или снижения качества готового продукта. Необходим этап быстрой сушки без значительного расхода энергии и без образования дополнительных частиц.
Что важно при работе устройства
Мы разработали устройство для удаления влаги, используя коротковолновое инфракрасное излучение в кварцевом корпусе. Геометрия отражателя позволяет направлять тепло на саму пленку, а не на её подложку. Это обеспечивает точность температуры в пределах ±0,1°C на всей обрабатываемой поверхности. Таким образом температура фоторезиста остается в пределах допустимых значений во время процессов сушки. Устройство соответствует стандартам чистых комнат: используется оборудование с минимальным уровнем выделения газов, все соединения закрыты, а количество частиц в воздухе остается на стабильном уровне. Повторяемость результатов работы устройства составляет менее 1% за тысячи циклов. Система может быстро реагировать на изменения параметров, что позволяет сохранять стабильность критических размеров.
Почему это важно в литографии
В литографических установках устройство помогает удалять влагу с поверхности пленки перед нанесением фоторезиста. Это предотвращает проблемы, связанные с неравномерным нанесением фоторезиста. Кроме того, устройство обеспечивает одинаковую температуру в одной и той же точке при каждой процедуре сушки. Это позволяет избежать колебаний температуры. Такая стабильность сокращает время на настройку оборудования, уменьшает количество необходимых переработок и экономит энергию, поскольку устройство нагревает только нужную область. Надежность устройства проявляется в длительном времени его работы – устройство может функционировать более 5 000 часов с потерей производительности менее 5%. Промежутки между техническим обслуживанием также увеличиваются, что снижает риски.
На что следует обратить внимание
Устройство работает с стандартными интерфейсами SEMI. Однако при интеграции в оборудование необходимо учитывать вопросы теплового расширения и расположения вентиляционных каналов. Кварцевый корпус не выдерживает механических воздействий, поэтому при его установке необходимо соблюдать определенные требования к крутящему моменту и выравниванию. Также необходимо использовать кабели для передачи энергии и сигналов, соответствующие стандартам чистых комнат. Не забудьте проверить, соответствуют ли используемые газы и химикаты списку материалов, разрешенных к использованию.