Trên dây chuyền sản xuất, hơi ẩm còn sót lại trong lớp phim quang học hoặc trên bề mặt wafer sẽ gây ảnh hưởng xấu đến các kích thước quan trọng của wafer sau khi tiếp xúc với tia chiếu. Nếu không loại bỏ hơi ẩm này, wafer sẽ bị nhiễm bẩn, và điều này có thể khiến toàn bộ lô sản phẩm bị hỏng. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng máy sấy để loại bỏ hơi ẩm khỏi wafer – máy này giúp loại bỏ những yếu tố gây biến đổi kích thước của wafer.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi thiết kế máy sấy này với mục tiêu đạt được hiệu suất làm nóng nhanh và chính xác. Các nguyên tố halogen tạo ra ánh sáng có cường độ cao và bước sóng ngắn, giúp bề mặt wafer nóng lên nhanh chóng. Lớp vỏ bằng thạch anh giúp duy trì môi trường làm việc ổn định, ngay cả khi máy hoạt động liên tục. Kết quả là độ đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer đạt mức ±0,1°C, giúp quá trình sấy diễn ra một cách ổn định. Việc kiểm soát nhiệt độ cũng rất chính xác, giúp bảo vệ lớp phim quang học khỏi tác động của nhiệt độ. Cường độ ánh sáng cũng được điều chỉnh sao cho có thể loại bỏ hơi ẩm một cách nhanh chóng mà không gây ra sự biến đổi nhiệt độ quá mức.
Tại sao máy sấy này phù hợp với quy trình lithography? Trong quy trình lithography, wafer cần phải được khô và ổn định trước khi tiếp xúc với tia chiếu; sau đó cần có quá trình sấy đều đặn. Máy sấy này giúp làm khô bề mặt wafer nhanh chóng, đồng thời duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt quá trình sấy. Điều này giúp giảm thiểu số lượng sản phẩm bị hỏng, đồng thời giúp kiểm soát chất lượng sản phẩm trong môi trường làm việc sạch chuẩn Class 1–100. Việc kiểm soát nhiệt độ cũng rất chính xác, giúp bảo vệ lớp phim quang học khỏi tác động của nhiệt độ. Năng lượng tiêu thụ cũng được kiểm soát tốt nhờ khả năng điều chỉnh nhiệt độ nhanh – ít nhiệt lãng phí và ít công suất làm mát cần thiết.
Chi tiết kỹ thuật Việc lắp đặt máy sấy khá đơn giản, nhưng vẫn cần phải điều chỉnh độ căn chỉnh và khoảng cách tập trung sao cho phù hợp với quy trình sản xuất. Cường độ ánh sáng thay đổi theo khoảng cách, vì vậy cần chỉnh lại máy một lần rồi cố định nó lại. Sau khi bảo trì hoặc thay thế bóng đèn, cần có một khoảng thời gian ổn định nhiệt độ trước khi bắt đầu quy trình sản xuất. Khi máy được điều chỉnh đúng cách, nó sẽ đảm bảo khả năng loại bỏ hơi ẩm và sấy wafer một cách ổn định, hàng ngày.