Trong quy trình sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5°C trong quá trình nung phim photoresist cũng có thể khiến độ rộng của các đường vẽ trên wafer thay đổi vài nanomet. Điều này dẫn đến việc phải loại bỏ rất nhiều sản phẩm không đạt tiêu chuẩn. Chúng tôi đã thiết kế lò nung dành cho mục đích này, sử dụng ánh sáng hồng ngoại cực ngắn để tạo ra nhiệt lượng nhanh chóng và hiệu quả, giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong các bước xử lý quan trọng.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Lamp hoạt động trong dải ánh sáng hồng ngoại cực ngắn, vì vậy phim photoresist có thể hấp thụ nhiệt một cách hiệu quả. Thời gian nung được rút ngắn, nhưng wafer vẫn được bảo vệ khỏi tác động của nhiệt độ cao. Độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer dao động trong khoảng ±0,1°C. Độ lặp lại của quy trình được đảm bảo nhờ hệ thống đo nhiệt độ chính xác. Việc sử dụng vật liệu phù hợp với tiêu chuẩn Class 1–100, cùng với thiết kế giúp loại bỏ các hạt bụi, giúp duy trì môi trường sạch sẽ. Hệ thống hoạt động 24/7 với các khoảng thời gian bảo trì dự đoán được, giúp tránh tình trạng tổn thất do sự cố không mong muốn.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong thực tế Trong quá trình làm khô wafer, ánh sáng hồng ngoại giúp loại bỏ hơi ẩm trên bề mặt mà không gây ảnh hưởng đến các lớp phủ trên wafer. Trong quá trình nung mềm, các chất lỏng bay hơi một cách hiệu quả, giúp tăng độ bám dính và giảm tình trạng xuất hiện các vết bẩn. Trong quá trình nung cứng và xử lý phim photoresist, nhiệt độ được kiểm soát chính xác, giúp tăng độ chính xác trong việc vẽ các đường trên wafer và giảm số lần phải tái xử lý. Kết quả là tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn cao, thời gian xử lý ngắn hơn, và mức tiêu thụ năng lượng ít hơn, vì nhiệt lượng được sử dụng một cách hiệu quả.
Những điều cần lưu ý Ánh sáng hồng ngoại mang lại hiệu quả nhanh chóng, vì vậy yếu tố liên quan đến việc truyền nhiệt và điều kiện hoạt động của lò nung rất quan trọng. Chúng tôi cung cấp bộ phụ kiện hỗ trợ truyền nhiệt, và khuyến nghị nên kiểm calibrat đèn đo nhiệt độ hàng quý để đảm bảo độ chính xác. Lò nung này có thể được tích hợp vào các hệ thống sản xuất tiêu chuẩn, nhưng cần có mạch điện riêng với điện áp 208–240 V, cùng với hệ thống thông gió hiệu quả. Sự ổn định của nhiệt độ và hiệu quả của hệ thống thông gió phụ thuộc vào những yếu tố này. Hãy lên kế hoạch thực hiện các bài kiểm tra ngắn để đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ và khả năng lặp lại của quy trình xử lý.