
防止加工设备中的热量流失
高功率加热灯存在的问题是:它们会散发出大量热量。在加工晶圆时,这些红外线能量不会停留在某个固定位置,而是向四周散发。如果没有有效的措施来控制这些热量,那么设备的内部结构就会吸收这些热量。很快,设备的外壳就会过热,从而带来安全隐患。没人希望使用那种像烤箱一样的设备。
石英材料的解决方案
这时,高纯度石英材料就派上用场了。可以把石英视为一种“热屏障”。石英的优点在于,它能让合适的红外波长穿透过去,同时又能阻止热量扩散到设备的其他部分。通过在灯泡和设备外壳之间设置石英屏障,就可以有效隔离热量。这样,热量就能被引导到正确的位置,而设备的外壳则保持凉爽。这是一种将混乱的热源转化为精确控制热量的简单方法。
需要注意的问题
不过,石英虽然耐高温,但并非无懈可击。最大的威胁其实是污垢。如果设备表面积累了化学物质或油污,就会出现“热点”。此时,玻璃材料会开始吸收热量,从而产生局部应力,最终导致设备损坏。因此,要想保持稳定的温度,就必须保持玻璃表面的清洁。就这么简单。
实际应用效果
最棒的是,这种方法还能改善设备的整体性能。既然热量不再逸出,那么设备的冷却系统就不必那么辛苦地工作了。无需再花费大量资金购买大型风扇或复杂的冷却装置来避免设备过热。这真是一种简单的解决热问题的方法。只需将灯泡与石英屏障连接起来,就能让加工区域与设备外壳完全隔离开来。非常实用。