防止加工设备中的热量流失 高功率加热灯存在的问题是：它们会散发出大量热量。在加工晶圆时，这些红外线能量不会停留在某个固定位置，而是向四周散发。如果没有有效的措施来控制这些热量，那么设备的内部结构就会吸收这些热量。很快，设备的外壳就会过热，从而带来安全隐患。没人希望使用那种像烤箱一样的设备。 石英材...

在光刻工厂里，任何细微的误差都可能带来严重后果。如果光阻在软化处理过程中的温度偏差达到±2°C，就可能导致关键尺寸出现偏差；而干燥过程中如果出现颗粒物，那么整批产品都将被浪费掉。我们采用了高纯度石英作为加热元件，从而确保其热性能稳定、可重复——因为在光刻工艺中，对温度控制的精度要求极高。 核心优势...