如何正确地对晶圆进行固化处理（同时避免能源浪费）
在固化晶圆的过程中，关键在于如何控制热量。大多数人使用红外线灯来加热晶圆，但实际上，红外线灯本身只是其中的一部分而已。真正的关键在于反射器的作用。
如果不小心的话，大量的昂贵能源就会白白浪费掉。这就好比为了加热一杯咖啡而把整个房间都加热起来一样——既不经济，也不利于环境保护。
充分利用每一瓦特的能量
可以把反射器看作是一种防止能量浪费的工具。与其让红外线灯向各个方向散发热量，不如用反射器将那些无效的能量重新引导回来，使其直接照射到硅片上。
这其实是个简单的技巧，但它能让可使用的能量增加一倍，而无需从电网中获取更多电力。只要调整好反射率，就可以降低功率需求，同时依然能达到所需的温度。
热量与材料之间的挑战
选择合适的材料是一大难题。镀金基材是个不错的选择，因为它们能承受高强度的红外辐射，且不会氧化。而高纯度铝则常被用于短波加热装置中。
不过，这里有个问题：热量会让物体变形。如果外壳无法承受红外线灯产生的高温，金属就会变形。哪怕是微小的变形，也可能会在晶圆上形成“冷点”。一旦出现这种情况，整个流程就会出故障，导致大量晶圆报废。真是糟糕至极。
切实减少碳排放
在半导体生产过程中实现“绿色化”，并不需要什么神奇的灯光或复杂的科技手段。其实，这不过是运用基本物理学原理罢了。通过精确控制红外线束的焦点，我们可以避免浪费能量来加热机器本身及周围的空气。此外，更好的反射器还能更快地让晶圆达到所需温度，从而减少每块晶圆所需的电能。
不过需要注意的是，当红外线束的强度增加时，温度也会迅速上升。因此，必须仔细检查PID控制器。否则，晶圆表面就有可能在不知不觉中被烧毁。