Auf der Fertigungsfläche kann feuchte Luft – sei sie nun im Fotolack oder direkt auf der Wafernoberfläche vorhanden – nach der Belichtung zu...

Während des Prozesses kommt die Wafer aus dem Spülvorgang heraus – und die Uhr beginnt zu ticken. Jegliche verbleibende Feuchtigkeit führt dazu, dass...