Warum Kohlenstofffasern-IR-Lampen die richtige Lösung für bleifreie Halbleiterproduktion sind
Die Halbleiterindustrie weicht endlich von den alten, auf Lösungsmitteln beruhenden Trocknungsverfahren ab. Aufgrund der neuen Vorgaben bezüglich des Verzichts auf Blei sowie des Wunsches nach umweltfreundlicheren Produktionsverfahren muss man nun einen Weg finden, hohe Temperaturen zu erzeugen – ohne dabei schädliche Emissionen zu verursachen.
Dabei kommen Kohlenstofffasern-IR-Lampen ins Spiel.
Das Geheimnis liegt im Faden
Die meisten Menschen sind an Metallspulen gewöhnt – doch wir arbeiten anders. Wir verwenden Kohlenstofffasernfäden in Quarzröhren. Warum? Weil dadurch die Wärme gleichmäßig über die gesamte Länge der Röhre verteilt wird. So entstehen keine „heißen Stellen“, die dünnere Wafer beschädigen könnten. Zudem dringt die mittel- bis kurzwellige Strahlung direkt in das Aushärtungsresin ein. Dadurch wird keine Zeit damit verschwendet, die Umgebungsluft zu erwärmen – die Strahlung trifft direkt auf das Ziel.
Schnell. Sehr schnell.
Einer der Vorteile dieser Lampen ist ihre Geschwindigkeit: Sie erreichen ihre Betriebstemperatur bereits nach wenigen Sekunden. Vergessen Sie die langen, langweiligen Aufwärmzeiten, wie sie bei herkömmlichen Ofenarten üblich sind. Man schaltet einfach den Schalter ein – und schon kann man mit der Produktion beginnen. Dadurch sinken die Energiekosten, und der Reinraum wird nicht zur Sauna.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte
Es handelt sich dabei nicht um eine einfache „Steck-und-Funktionieren“-Lösung. Bei der Anschlussierung dieser Lampen muss man genau auf die Spannungsregulierung achten. Zwar kann Kohlenstofffiber Vibrationen besser aushalten als Halogenlampen – doch die Quarzröhren bestehen trotzdem aus Glas und sind daher brüchig. Falls der Boden stark vibriert, sollten Sie unbedingt gedämpfte Befestigungselemente verwenden, damit die Röhren nicht zerbrechen.
Reine Wärme – keine Probleme
Für den bleifreien Aushärtungsprozess sind in der Regel höhere Temperaturen erforderlich als bei herkömmlichen Methoden. Kohlenstofffasern-IR-Lampen können diese Temperaturanstiege problemlos bewältigen – ohne dabei Verbrennungsrückstände oder VOCs freizusetzen. Es handelt sich dabei einfach um reine, trockene Wärme. Wenn man Ziele bezüglich null Emissionen verfolgt, ist das wohl die einzige mögliche Lösung.