Hören Sie auf, auf den Ofen zu warten: Warum Infrarotheizung beim Halbfertigungsprozess vorteilhaft ist
Viele Halbleiterfabriken verwenden immer noch Systeme mit Wärmebelüftung. Wer schon damit gearbeitet hat, kennt das Problem: Die Luft wird erhitzt, diese wiederum erwärmt den Raum – und schließlich wird die Waferplatte warm. Es handelt sich dabei um einen langsamen Prozess. Es ist, als würde man darauf warten, dass ein riesiger Topf mit Wasser kocht – obwohl man eigentlich nur eine schnelle Erhitzung benötigt.
Deshalb wechseln immer mehr Menschen auf Infrarotheizung. Dabei wird der „Zwischenmann“ weggelassen: Anstelle dazu, den ganzen Raum zu erwärmen, werden die Energiestrahlen direkt auf das Ziel abgegeben.
Die wirklichen Kosten des Wartens
Systeme mit Wärmebelüftung haben eine große „thermische Trägheit“ – das bedeutet, dass es lange dauert, bis sie in Gang kommen. Man verbringt Minuten damit, auf den Bildschirm zu starren und darauf zu warten, dass der Raum die richtige Temperatur erreicht.
Mit Infrarotheizung sind die Ziele bereits nach Sekunden erreicht. Für Ingenieure bedeutet das einen großen Vorteil. Man spart nicht nur Geld bei den Stromkosten, sondern kann auch mehr Wafer pro Stunde verarbeiten. Dadurch läuft der gesamte Produktionsprozess schneller ab.
Das Problem mit der Verkabelung
Hier geht es meist schief: bei der Verkabelung. Standard-PVC-Kabel sind hier nutzlos – sie schmelzen sofort, sobald es heiß wird. Deshalb verwenden wir Kabel mit Teflonüberzug. Diese können die extreme Hitze neben den Infrarotlampen aushalten, ohne zu versagen oder Kurzschlüsse zu verursachen. So bleibt die Stromzufuhr konstant, selbst wenn der Heizer auf volle Leistung gestellt wird.
Es handelt sich nicht um einen Zaubertrick
Infrarotheizung ist zwar keine perfekte „Plug-and-Play-Lösung“. Da die Wärme gerichtet ist, muss man sorgfältig darauf achten, wo die Lampen platziert werden. Wenn man auch nur einen kleinen Fehler macht, entstehen kühle Stellen auf der Waferplatte.
Man kann keinen Infrarotheizer einfach in einen alten Konvektionsofen stecken und darauf hoffen, dass alles funktioniert. Man muss den „Sichtbereich“ der Lampen genau planen und bei der Verlegung der Kabel vorsichtig sein. Halten Sie die Teflonkabel außerhalb der direkten Sichtlinie der Lampen – sonst müssen Sie sie viel früher ersetzen.
Trotzdem ist Infrarotheizung für alle, die eine hochpräzise Produktion betreiben, die beste Lösung. Sie beseitigt die Verzögerungen, die normalerweise die Produktivität beeinträchtigen.