وقتی که ویفرهای سنسورهای MEMS را پس از شستشوی شیمیایی خشک میکنید، در واقع در حال عبور از یک مسیر بسیار حساس هستید. برای انجام این کار، به گرمای زیادی نیاز است؛ اما این کار را درست کنار مواد حلال قابل اشتعال انجام میدهید. یک اشتباه کوچک میتواند منجر به مشکلات جدی شود.
به همین دلیل، از لامپهای مادون قرمز با امواج کوتاه استفاده میکنیم. این لامپها، گرمای زیادی را در مدت زمان کوتاهی به ویفرها اعمال میکنند؛ در نتیجه، مایعات موجود در ویفرها بلافاصله تبخیر میشوند، قبل از اینکه سطح ویفر دچار گرمای بیش از حد شود.
مقابله با خطرات
بزرگترین نگرانی در فرآیند شستشوی شیمیایی، خطر آتشسوزی است. ما فقط به ایمنی تجهیزات اعتماد نمیکنیم؛ بلکه استفاده از ساختارهای حفاظتی مناسب را نیز در نظر گرفتهایم. لامپهای مادون قرمز را در لولههای کوارتزی یا زافیری قرار میدهیم؛ این لولهها نقش پوشش حفاظتی را داشته و از نزدیک شدن این بخارات قابل اشتعال به فیلامنتهای گرم جلوگیری میکنند. همچنین، سیمها را نیز با رزینهای مقاوم در برابر مواد شیمیایی مهر و موم میکنیم. هدف این کار، جلوگیری از ورود گازها به داخل تجهیزات است.
گرما و جریان هوا
این گرمکنها برای رسیدن به دمای خاصی طراحی شدهاند. امواج مادون قرمز، مایعات موجود در ویفرها را بلافاصله به بخار تبدیل میکنند. اما نکته مهم این است که باید سیستم تخلیه هوای مناسبی داشته باشیم؛ در غیر این صورت، مواد شیمیایی تبخیر شده در اطراف گرمکن باقی خواهند ماند. نمیتوانیم اجازه دهیم چنین اتفاقی رخ دهد.
حفظ عملکرد تجهیزات
هیچکس نمیخواهد وقت خود را صرف تعمیر دستگاههای خشککننده کند، فقط به این دلیل که یک لامپ خراب شده است. ما این دستگاهها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانیم لامپهای خراب شده را به راحتی تعویض کنیم. همچنین، از کوارتزهای محکم برای ساخت این دستگاهها استفاده کردهایم؛ این کوارتزها میتوانند در برابر تغییرات دمایی شدید مقاومت کنند. فقط مطمئن شوید که منبع تغذیه دستگاه دارای فیلتر باشد؛ زیرا نوسانات ولتاژ میتواند باعث خرابی فیلامنت شود، و این موضوع میتواند مشکلات زیادی ایجاد کند.