Saat Anda membersihkan wafer sensor MEMS setelah proses pembersihan kimia, Anda berada di situasi yang sangat berisiko. Anda membutuhkan panas yang tinggi untuk menyelesaikan pekerjaan tersebut, tetapi hal ini dilakukan tepat di dekat zat-zat pelarut yang mudah terbakar. Sedikit saja kesalahan, maka Anda akan menghadapi masalah serius.
Itulah mengapa kami menggunakan lampu inframerah berfrekuensi pendek. Lampu ini menghasilkan panas yang intens dalam waktu singkat, sehingga cairan yang ada pada wafer dapat dikeringkan sebelum substratnya menjadi terlalu panas.
Menghadapi bahaya Kekhawatiran utama dalam proses pembersihan kimia tentu saja adalah risiko kebakaran. Kami tidak hanya mengandalkan fitur keamanan yang ada pada peralatan tersebut, tetapi juga membuat struktur pelindung khusus. Kami meletakkan lampu IR di dalam tabung kuarsa atau safir yang tertutup rapat. Hal ini bertujuan untuk menjauhkan uap-zat pelarut yang mudah terbakar dari filamen wolfram yang panas. Kabel-kabelnya pun disegel menggunakan bahan resin yang tahan terhadap bahan kimia. Semua ini dilakukan untuk mencegah masuknya gas-gas berbahaya ke dalam peralatan.
Panas dan aliran udara Peralatan pemanas ini dirancang untuk menghasilkan suhu yang spesifik. Gelombang inframerah berfrekuensi pendek mampu membakar sisa cairan menjadi uap dalam waktu singkat. Namun, Anda membutuhkan sistem ventilasi yang baik. Jika aliran udara tidak lancar, maka zat-zat kimia yang telah menguap akan tetap berada di sekitar peralatan pemanas. Hal ini tentu saja harus dihindari.
Memastikan peralatan tetap berfungsi Tentu saja, tidak ada yang ingin menghabiskan waktu sore harinya untuk memperbaiki peralatan pengering hanya karena bohlamnya rusak. Kami merancang peralatan ini dengan konektor standar, sehingga penggantian bohlam yang rusak dapat dilakukan dengan cepat dan mudah. Kami juga menggunakan kuarsa yang tahan terhadap tegangan tinggi. Dengan begitu, peralatan tetap dapat berfungsi meskipun mengalami perubahan suhu yang drastis. Pastikan pula bahwa sumber daya listriknya sudah disaring. Naik turunnya tegangan listrik secara tiba-tiba merupakan penyebab utama kerusakan filamen, dan hal ini tentu saja harus dihindari.