
Mengapa Kita Beralih ke Sistem Pemanasan dengan Gelombang Inframerah
Sejujurnya, oven konvensional yang digunakan sejak dulu merupakan cara yang tidak efisien. Oven tersebut beroperasi lambat, berukuran besar, dan membuang banyak energi hanya untuk memanaskan udara serta dinding logamnya, sebelum akhirnya suhu tersebut sampai ke permukaan wafer.
Itulah mengapa kita beralih ke sistem pemanasan menggunakan gelombang inframerah. Cara ini jauh lebih efektif. Alih-alih memanaskan seluruh ruangan, energi digunakan langsung untuk memanaskan permukaan wafer itu sendiri.
Menghilangkan waktu tunggu yang panjang
Coba pikirkan bagaimana proses pengeringan tradisional bekerja. Kita harus menunggu hingga udara panas menyentuh permukaan wafer. Proses ini membutuhkan waktu yang lama. Dengan menggunakan gelombang inframerah, kita dapat memanaskan molekul-molekul dalam lapisan pelapis wafer secara langsung. Kita menggunakan gelombang inframerah berfrekuensi rendah, karena gelombang ini dapat masuk ke lapisan permukaan wafer dengan cepat. Yang terbaik adalah kita tidak perlu lagi menggunakan bahan pengstabil berbasis timbal atau pelarut berbahaya yang biasanya membutuhkan waktu berjam-jam untuk hilang setelah dipanaskan. Cara ini lebih cepat, dan juga lebih ramah lingkungan.
Energi yang digunakan tanpa pemborosan
Kita menggunakan lampu dengan daya tinggi agar energi dapat disalurkan tepat ke tempat yang dibutuhkan. Dengan begitu, waktu yang dibutuhkan untuk memanaskan wafer bisa dikurangi dari beberapa menit menjadi hanya beberapa detik saja. Kita tidak perlu membiarkan oven beroperasi tanpa tujuan selama berjam-jam sambil menunggu suhu wafer naik. Cukup nyalakan saklar, wafer akan mencapai suhu yang diinginkan, dan proses pun selesai. Sangat sederhana.
Masalah yang perlu diperhatikan: Stres termal
Namun, hal ini bukanlah sesuatu yang mudah. Gelombang inframerah berintensitas tinggi memang sangat kuat—mungkin terlalu kuat jika tidak ditangani dengan hati-hati. Jika suhu dipertahankan terlalu tinggi, wafer bisa rusak atau bahkan pecah. Ini merupakan tantangan yang perlu diatasi. Kita perlu menyesuaikan daya lampu dan jarak antara lampu dan wafer sedemikian rupa agar tidak ada titik panas yang terbentuk.
Proses pembersihan yang lebih mudah
Keuntungan utama dari penggunaan gelombang inframerah adalah prosesnya bersifat “kering”. Tidak ada gas hasil pembakaran, dan tidak ada uap berbahaya yang berkeliaran di laboratorium. Selain itu, sistem ini juga dapat digunakan bersama sistem vakum atau gas inert. Bagi pabrik-pabrik yang ingin memenuhi standar “hijau” atau bebas timbal, inilah solusinya. Ini merupakan pengganti yang sempurna untuk sistem pemanasan konvensional yang boros energi dan sudah ketinggalan zaman.