ウエハー硬化ランプ用反射板

ウェーハの硬化処理を適切に行う方法（エネルギーの無駄遣いを避ける） ウェーハを硬化処理する際には、熱の扱い方が重要です。私たちの多くはIRランプを使用していますが、実はランプ自体は問題の半分に過ぎません。本当に重要なのは反射板です。 注意しないと、高価なエネルギーが大量にチャンバー外に漏れ出してし...