スマートファブでUHP赤外線ヒーターを実際に活用する方法 半導体工場を運営しているなら、UHPヒーターランプが熱エネルギー供給のために不可欠な存在であることはご存知でしょう。しかし、私たちが「インダストリー4.0」の環境へと移行する中で、重要なのは単に熱を供給することだけではありません。重要なのは...

製造現場では、その重要性は言うまでもありません。フォトレジストのソフトベイク時に±2℃の温度変動があるだけで、重要な寸法が変わってしまいます。また、乾燥過程で粒子が発生すると、一括して不良品になってしまいます。私たちは、プロセスの許容範囲が極めて狭いこのような環境下で、安定した熱特性を実現するため...