真空状態でのIR加熱による炭素排出量の削減 もし半導体工場で働いたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。正確な温度制御が必要ですが、ウェーハが酸化したり汚れたりしないように、真空状態で処理を行う必要があります。多くの人々は従来の抵抗式ヒーターを使っていますが、私たちはより良い方法を見つけま...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業する際、最も避けたいのは、ヒーターから微粒子が放出されて機器が汚染されることです。実際、これは思った以上によく起こります。一般的なヒーターは、加熱・冷却の過程で剥がれ落ちたり、ガスを放出したりします。そうなると、ウェ...