파편을 막아라: 왜 워시 사이클에는 방수형 적외선 램프가 필요한가?
만약 워시 사이클 중에 적외선 램프가 고장 난 적이 있다면, 그 상황이 얼마나 심각한지 잘 알 것입니다. 그건 정말 끔찍한 상황입니다. 단순히 부품이 고장난 것뿐만 아니라, 유리 조각들과 화학물질들이 웨이퍼 위에 흩어져 있게 됩니다. 이는 즉각적이고 비용이 많이 드는 2차 오염 문제를 초래합니다. 우리는 이러한 문제를 반복해서 보며 지쳤습니다. 그래서 실제로 사용할 수 있는 방수형 적외선 램프를 개발했습니다.
“폭발”의 원인
문제는 물방울이 뜨거운 석영관에 부딪히면 그 부분의 온도가 급격히 떨어진다는 점입니다. 이것이 바로 열충격입니다. 그로 인해 보이지 않는 미세한 균열이 생깁니다. 하지만 대량 생산을 할 때는 그 균열들이 점점 커집니다. 결국 석영관이 폭발하게 됩니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 특수한 석영 혼합물을 사용했습니다. 이 혼합물은 열팽창 계수가 낮아, 습기에 의한 손상을 견딜 수 있습니다. 즉, 스트레스를 더 잘 견딜 수 있는 것입니다.
물이 들어오는 것을 막아라
습한 환경에서 사용되는 일반적인 램프는 마치 시한폭탄과 같습니다. 우리는 램프의 끝부분에 밀폐 시스템을 추가하여 습기가 전기 접점으로 들어오는 것을 막았습니다. 더 이상 아크가 발생하지 않고, 조기에 고장 나는 일도 없습니다. 또한, 물에 포함된 미네랄들이 석영관 위에 침전되어 “핫 스팟”을 만듭니다. 이로 인해 열 분포가 깨지고 결국 석영관이 파괴됩니다. 우리는 석영관의 외부 표면을 처리하여 그러한 침전물이 생기지 않도록 했습니다. 그렇게 하면 웨이퍼 전체에 고르게 열이 분배됩니다.
몇 가지 고려해야 할 사항
물론 완벽한 것은 없습니다. 방수 기능을 추가함으로써 추가적인 절연층이 생깁니다. 따라서 열 반응 속도가 일반 석영관보다 조금 느릴 수 있습니다. 이는 큰 문제는 아니지만, 정확한 온도 제어가 필요하다면 PID 설정을 조정해야 합니다. 가장 좋은 점은 이 램프들이 기존의 워시 스테이션에 그대로 사용할 수 있다는 것입니다. 다만, 전력 공급 장치가 방수형 램프의 전력을 감당할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 과부하로 인해 문제가 생길 수 있습니다.