웨이퍼 수분 제거용 히터 램프
팹 내부에서는, 포토레지스트에 남아 있는 수분이나 웨이퍼 표면에 있는 수분이 노출 과정 이후에 웨이퍼의 치수를 망가뜨릴 수 있습니다. 이러한 수분을 제거하지 않으면 얼룩이 생기거나 에칭 잔여물이 남아서 전체 웨이퍼가 버려질 수도 있습니다. 그래서 우리는 웨이퍼의 수분...
와이퍼 수분 제거 램프
반도체 웨이퍼가 세척 과정을 거친 후에는 계측이 시작됩니다. 남아 있는 수분은 포토레지스트의 성능에 악영향을 미치거나, 웨이퍼의 품질을 저하시킬 수 있습니다. 따라서 물기를 신속하게 제거해주는 공정이 필요합니다. 이때 열에너지를 낭비하거나 불순물이 생성되어서는 안 됩...