스마트 팩토리에서 적절한 온도를 유지하는 방법 스마트 팩토리를 구축할 때, 열 관리가 얼마나 어려운 문제인지 아시겠죠. 기존의 난방 시스템들은 단순히 공기를 순환시키는 방식을 사용하기 때문에, 그 에너지의 상당 부분이 낭비됩니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된 이중관형...

왜 카본 파이버 IR이 무연 반도체 제조에 적합한지 반도체 산업은 이제 점차 구식의 용매 기반 건조 방식을 버리고 있습니다. 새로운 무연 규정과 친환경적인 생산 방식의 요구 때문에, 유해한 배기가스 없이도 고밀도의 열을 공급할 수 있는 방법을 찾아야 했습니다. 바로...

파편을 막아라: 왜 워시 사이클에는 방수형 적외선 램프가 필요한가? 만약 워시 사이클 중에 적외선 램프가 고장 난 적이 있다면, 그 상황이 얼마나 심각한지 잘 알 것입니다. 그건 정말 끔찍한 상황입니다. 단순히 부품이 고장난 것뿐만 아니라, 유리 조각들과 화학물질들이...

스마트 팹에서 UHP 적외선 가열 기술을 효과적으로 활용하는 방법 반도체 공장을 운영하고 있다면, UHP 히터가 열에너지를 제공하는 데 있어 핵심적인 역할을 한다는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 하지만 ‘인더스트리 4.0’ 시대로 넘어가면서 이제는 단순히 열을 공급하...

금도금된 적외선 램프가 고장나지 않도록 하는 방법 반도체 제조 공장에서는 금도금된 적외선 램프가 열을 효과적으로 전달하는 데 중요한 역할을 합니다. 그 금 코팅은 단순히 장식용이 아니라, 열을 웨이퍼 쪽으로 전달하고 램프 본체가 과열되는 것을 막아줍니다. 하지만 문제...

클린룸용 적외선 램프를 안전하게 사용하는 방법 클린룸에서는 조금이라도 실수가 발생해서는 안 됩니다. 아주 약간의 오염이나 갑작스러운 전기적 문제만으로도 하루 종일의 작업과 프로젝트가 망칠 수 있습니다. 저희는 램프가 특정 온도에 도달하도록 설계했지만, 진짜 문제는 보...

와이어의 경화 과정을 올바르게 수행하기 위해서는 에너지 낭비를 막는 것이 중요합니다. 와이어를 경화시킬 때 가장 중요한 것은 열을 어떻게 조절하느냐입니다. 대부분의 경우 적외선 램프를 사용하지만, 사실 램프自체는 문제의 절반에 불과합니다. 진짜 핵심은 반사판에 있습니...

열 낭비를 막아라: 생체센서를 만드는 더 나은 방법 생체센서용 재료를 가공하거나 코팅할 때는 열이 매우 중요합니다. 하지만 지금까지 우리는 그런 느린 대류식 오븐에 의존해왔습니다. 문제는, 아주 작은 기판을 적절한 온도로 만들기 위해 엄청난 양의 공기를 가열해야 한다...

팹 장비의 열 누출을 막는 방법 고출력 가열등의 문제점은 바로 그 열이 제대로 통제되지 않는다는 것입니다. 웨이퍼를 처리할 때, 그 적외선 에너지는 한 곳에 머물러 있지 않고 사방으로 퍼져나갑니다. 이 열을 통제할 방법이 없다면, 기계의 내부 벽면이 그 열을 모두 흡...

화학 처리 구역에서 오존이 없는 적외선 램프를 사용하여 안전을 보장하기 만약 화학 세척 공정에 적외선 히터를 사용한다면, 그 위험성은 잘 알고 있을 것입니다. 연소성 기체와 부식성 유체들이 설비를 손상시킬 수 있기 때문입니다. 이런 환경에서는 일반적인 적외선 램프는...

파편 생성을 막아보세요: 램프가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 고부하가 걸리는 공장에서 램프가 파손되는 것은 단순한 “기술적 문제”나 일시적인 가동 중단에 그치지 않습니다. 그것은 정말 큰 재앙입니다. 하나의 석영관이 파손되면, 유리 조각들과 텅스텐 필...

우리는 실제 산업 현장에서 사용될 수 있는 알루미늄 반사판을 갖춘 적외선 램프를 만들었습니다. 이러한 램프는 고출력의 열을 방출하기 때문에, 전기 안전에 있어서는 절대 타협할 수 없습니다. 그래서 모든 램프가 공장을 떠나기 전에 반드시 절연 저항 및 내전압 테스트를...

팹 내부에서는, 포토레지스트에 남아 있는 수분이나 웨이퍼 표면에 있는 수분이 노출 과정 이후에 웨이퍼의 치수를 망가뜨릴 수 있습니다. 이러한 수분을 제거하지 않으면 얼룩이 생기거나 에칭 잔여물이 남아서 전체 웨이퍼가 버려질 수도 있습니다. 그래서 우리는 웨이퍼의 수분...

사진현상 과정에서 가장 중요한 것은 바로 열처리 단계입니다. 이 단계에서 생산성과 처리 시간이 결정됩니다. 몇 도의 온도 변동이나 웨이퍼 위의 과열 부분만 있어도, 선의 굵기가 달라지거나 불순물이 생기거나 용매가 남게 됩니다. 따라서 필요한 것은 빠르게 온도를 상승시...

300mm 공정에서는 포토레지스트를 건조시키는 과정에서 열에너지를 효율적으로 활용할 수도 있고, 반대로 낭비할 수도 있습니다. 균일성이 떨어지면 웨이퍼 전체에 걸쳐 선의 굵기에 변동이 생깁니다. 또한 가스 방출이나 입자 생성으로 인해 공정이 오염된다면 다시 작업을 해...

제조 현장에서는, 포토레지스트를 가열할 때 온도가 0.5°C만 변해도 회로선의 굵기가 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 그래서 많은 제품들이 폐기되고 맙니다. 우리는 이러한 상황을 고려하여, 짧은 파장의 근적외선을 사용하는 리소그래피 오븐 램프를 개발했습니다. 이를...

반도체 웨이퍼가 세척 과정을 거친 후에는 계측이 시작됩니다. 남아 있는 수분은 포토레지스트의 성능에 악영향을 미치거나, 웨이퍼의 품질을 저하시킬 수 있습니다. 따라서 물기를 신속하게 제거해주는 공정이 필요합니다. 이때 열에너지를 낭비하거나 불순물이 생성되어서는 안 됩...

현장에서는 사진감광액 베이크 중 0.3°C의 온도 변동만으로도 전체 로트가 폐기될 수 있다는 것을 잘 알고 있습니다. 웨이퍼 오븐용 SK15 적외선 램프는 바로 그 온도 변동이 시작되는 지점을 차단하기 위해 설계되었습니다. 열 예산을 직접적으로 제어하여 소프트 베이크...

라인에서 플립 칩 본딩은 열 프로파일이 변동하기 시작할 때 섬세한 작업입니다. 하나의 뜨거운 지점이 있으면 범프가 언더필로 채워질 수 있습니다. 하나의 차가운 영역이 있으면 기공이 생깁니다. 히터 램프는 열 예산의 중앙에 위치하고 있으며, 노드를 계속 축소함에 따라...

300mm 라인에서의 웨이퍼 처리 300mm 라인에서 젖어 있는 웨이퍼는 라인 정지입니다. 남아있는 수분은 스트라이프, 입자 및 리소그래피에 도달하기도 전에 수율 손실을 초래합니다. 우리는 세척 후 빠른 건조 모듈을 구축하여 세척에서 건조로의 전환을 통제된 열 단계로...

라인에서는 드리프트가 허용되지 않는다. 웨이퍼의 열 예산은 리소그래피와 포토레지스트 공정을 통해 초 단위와 온도 단위로 측정된다. 연료전지 스택의 촉매층도 마찬가지로 얇고 민감하며 균일하지 않은 건조를 허용하지 않는다. 램프 성능이 떨어지면 즉시 알 수 있다. 가장자...