청정실 장비 업그레이드 공장
스마트 팩토리로 전환하려고 하시나요? 그렇다면 열 관리에 대해 이야기해보도록 하죠.
만약 공장을 “스마트 팩토리” 형태로 전환하려 한다면, 기존의 난방 장비가 성능 저하를 초래한다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 여전히 많은 공장들이 대류식 또는 저항식 난방 방식을...
클린룸 오븐 적외선 히터
일반적인 대류식 오븐을 생각해보세요. 이 오븐은 공기뿐만 아니라 랙이나 외벽까지 모든 것을 가열합니다. 반도체 클린룸에서는 이것이 문제가 됩니다. 작업자들이 오븐에 닿기만 해도 화상을 입을 수 있으며, 굳이 뜨거워질 필요가 없는 금속 벽까지 가열하는 데 엄청난 에너지...
클린룸용 적외선 히터
클린룸에서의 램프 폭발이라는 악몽을 막는 방법
웨이퍼 제조 공정 중에 적외선 램프가 과부하로 인해 폭발한 경험이 있다면, 그것이 얼마나 큰 재앙인지 잘 알 것입니다. 단순히 열이 발생하지 않는 것뿐만 아니라, 엉망이 되어버립니다. 석영 조각들과 할로겐 가스가 사방으로...
클린룸 벤치용 적외선 램프
클린룸용 적외선 램프를 안전하게 사용하는 방법
클린룸에서는 조금이라도 실수가 발생해서는 안 됩니다. 아주 약간의 오염이나 갑작스러운 전기적 문제만으로도 하루 종일의 작업과 프로젝트가 망칠 수 있습니다. 저희는 램프가 특정 온도에 도달하도록 설계했지만, 진짜 문제는 보...
반도체 청정실용 트롤리 히터
왜 우리는 클린룸용 카트에 적외선 가열 기술을 사용하는가?
반도체 제조 공장에서 “클린”이란 단순한 목표가 아니라 모든 것을 의미합니다. 부품에 이물질이 남아 있다면 그것은 큰 문제입니다.
그래서 우리는 카트 시스템에 적외선 가열 기술을 활용합니다. 대부분의 사람들은...