Ketika anda memproses wafer sensor MEMS setelah proses pembersihan menggunakan bahan kimia, anda sebenarnya berada dalam situasi yang sangat berbahaya. Anda memerlukan haba yang tinggi untuk menyelesaikan tugas tersebut, tetapi proses ini dilakukan di dekat bahan-bahan yang mudah terbakar. Sebarang kesilapan boleh menyebabkan masalah serius.
Itulah sebabnya kami menggunakan lampu inframerah gelombang pendek. Lampu ini menghasilkan haba yang kuat dan cepat, sehingga cecair tersebut dapat dikeringkan sebelum substrat tersebut sempat menjadi terlalu panas.
Menghadapi bahaya Kebimbangan utama dalam proses pembersihan menggunakan bahan kimia ialah risiko kebakaran. Kami tidak hanya bergantung pada peralatan yang dianggap “selamat” sahaja – kami juga membina lapisan pelindung khas untuk melindungi peralatan tersebut daripada bahan-bahan yang mudah terbakar. Lampu inframerah diletakkan di dalam tiub kuarsa atau safir yang tertutup rapat. Ini membantu menjauhkan wap-wap yang mudah terbakar daripada filamen tungsten yang panas. Kami juga menggunakan resin yang tahan terhadap bahan kimia untuk melindungi wayar-wayar tersebut. Semua ini dilakukan untuk memastikan tiada celah yang boleh dimanfaatkan oleh gas-gas berbahaya.
Haba dan aliran udara Pemanas-pemanas ini direka untuk mencapai suhu tertentu. Cahaya inframerah gelombang pendek dapat mengubah cecair menjadi wap dengan cepat. Namun, anda memerlukan sistem pengudaraan yang efektif. Jika aliran udara tidak lancar, bahan kimia yang telah menguap akan tetap berada di sekitar pemanas. Hal ini harus dielakkan.
Memastikan operasi yang lancar Tidak ada siapa yang ingin menghabiskan masa petang mereka untuk memperbaiki mesin pengering hanya kerana mentolnya rosak. Kami membuat unit-unit ini menggunakan konektor standard, jadi penggantian mentol yang rosak dapat dilakukan dengan cepat dan mudah. Kami juga menggunakan kuarsa yang tahan terhadap perubahan suhu yang drastik. Pastikan juga bekalan kuasa yang digunakan telah disaring. Fluktuasi voltan yang tidak terkawal merupakan penyebab utama kerosakan pada filamen, dan ini tentunya sesuatu yang tidak diinginkan.