Dalam proses litografi, proses pembakaran bukanlah sekadar langkah pemanasan sahaja; ia merupakan sebahagian daripada proses penghasilan produk tersebut. Perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses pembakaran akan mengubah nilai Tg pada bahan fotoresist. Selain itu, ketidakteraturan suhu semasa proses pembakaran akan menyebabkan masalah seperti ketidakseragaman garis tepi dan lebar garis pada permukaan wafer. Oleh itu, kawalan suhu yang tepat sangat penting, bukan sesuatu yang boleh diharapkan secara rawak.
Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Kami menggunakan sensor IR yang tepat untuk memastikan keseragaman suhu pada permukaan wafer pada tahap ±0.1°C. Ketepatan ini dapat dicapai dalam setiap proses pembakaran, dengan variasi yang tidak melebihi ±0.05°C antara setiap kumpulan wafer yang diproses. Sensor ini juga direka agar sesuai digunakan dalam persekitaran bilik bersih kelas 1–100, dan ia mampu menghasilkan isyarat NIR yang stabil tanpa adanya titik panas.
Proses pembakaran fotoresist dapat dilakukan pada suhu antara 90°C hingga 250°C, dengan kawalan suhu yang sangat tepat. Sistem ini juga dirancang untuk beroperasi 24/7 tanpa gangguan.
Mengapa ia berkesan dalam fasiliti pengeluaran:
Dalam praktiknya, proses pembakaran yang lembut akan memberikan hasil yang sama setiap kali ia dilakukan. Proses pembakaran yang keras pula akan memastikan profil suhu yang konsisten. Dengan cara ini, kualiti hasil litografi akan meningkat kerana sejarah suhu yang konsisten. Anda juga akan mengurangkan jumlah wafer yang rosak, serta memendekkan masa yang diperlukan untuk proses pengeluaran. Penggunaan tenaga juga akan berkurangan, kerana proses pembakaran disesuaikan mengikut sifat kimia bahan fotoresist, bukan berdasarkan tekaan semata-mata.
Apa yang perlu diketahui:
Pemasangan sensor memerlukan penyesuaian geometri pelat pembakaran serta nilai emisiviti bahan yang digunakan. Kami menyediakan kit kalibrasi serta senarai semak untuk proses integrasi selama 30 minit. Waktu persiapan mungkin sedikit lebih lama pada sistem lama, tetapi setelah disesuaikan dengan betul, proses pengeluaran akan berjalan dengan lancar. Untuk mendapatkan kestabilan yang maksimum, pastikan tiada sisa-sisa kotoran pada sensor, dan pastikan kebersihan sensor semasa penyelenggaraan pencegahan.