Уменьшение углеродного следа полупроводниковых камер
Большинство камер в заводах по производству полупроводников работают по старому принципу: они нагревают всю камеру с помощью конвекторных или резистивных нагревателей. Это похоже на то, как если бы нужно было нагреть всё жилье лишь для того, чтобы разогреть один кусочек пиццы. Это расточительство энергии и негативно сказывается на окружающей среде.
Мы нашли лучший способ. С помощью инфракрасных нагревателей можно направлять тепло непосредственно на объект обработки. Не нужно больше нагревать воздух или стены — достаточно нагревать только ту часть, которая действительно этого требует.
Прекратите использование метода “нагрева всей камеры”
Если мы действительно хотим достичь целей углеродной нейтральности, нам необходимо отказаться от такого подхода. Наши инфракрасные нагреватели настроены на определенные длины волн, которые эффективно поглощаются материалом, который нужно обработать. Поскольку мы можем контролировать мощность и напряжение, тепло достигает поверхности материала и там остается. Оно не проникает в стены камеры. К тому же, поскольку камера не превращается в печь, системам вентиляции и охлаждения не приходится так усердно работать, чтобы поддерживать стабильную температуру.
Детали конструкции
Мы изготавливаем эти устройства из высокочистого кварца и используем специальные покрытия, чтобы энергия могла проникать в материал, а не просто отражаться от его поверхности.
Самое лучшее то, что большинство из этих устройств можно заменить без необходимости полной перестройки всей системы. Мы также используем высокотемпературные соединители, чтобы избежать повреждения контактов. Только будьте осторожны при обращении с кварцем: если на его поверхности останутся отпечатки пальцев или жир, это может привести к перегреву элемента и его преждевременному разрушению. Сохраняйте чистоту.
Плюсы и минусы
Хорошая новость заключается в том, что инфракрасные нагреватели работают очень быстро. Время нагрева минимально. Это значит, что можно выключать устройство, когда оно не используется, тем самым экономя деньги на электроэнергии, без необходимости долго ждать, пока температура снова станет нормальной.
Но есть и недостатки. Инфракрасные нагреватели требуют чистой линии видимости. Если нагреватель не может “видеть” объект обработки, он не может его нагреть. Если в вашей камере сложная конфигурация или необычная геометрия, возможно, потребуется использовать несколько нагревателей для устранения холодных зон. Также убедитесь, что источник питания надежен. Резкие скачки напряжения могут быстро повредить инфракрасный нагреватель.