ในกระบวนการลิโธกราฟี การอบวัสดุไม่ใช่เพียงการอุ่นวัสดุเท่านั้น แต่เป็นขั้นตอนสำคัญในการปรับสมบัติของวัสดุด้วย หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปเพียง 2°C ในระหว่างการอบวัสดุชนิด “soft bake” ก็จะส่งผลให้ค่า Tg ของฟอโตรีซิสเต้อ์เปลี่ยนไป ส่วนการอบวัสดุชนิด “hard bake” ก็จะทำให้เกิดความไม่สม่ำเสมอในการอบวัสดุ ซึ่งส่งผลให้เกิดปัญหาต่างๆ เช่น ความไม่สม่ำเสมอของขอบวัสดุและความหนาของเส้นที่อบได้ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีระบบควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ ไม่ใช่ระบบที่ขึ้นอยู่กับโชคชะตา
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้เซ็นเซอร์อินฟราเรดความแม่นยำสูงเพื่อควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ทั่วพื้นผิวที่อบวัสดุ และความแม่นยำของการอบวัสดุจะอยู่ในช่วง ±0.05°C ระหว่างแต่ละครั้งที่อบวัสดุ เซ็นเซอร์นี้สามารถใช้งานได้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และถูกออกแบบมาให้ไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ปริมาณแสงที่ออกมาจากเซ็นเซอร์นี้มีความสม่ำเสมอ ไม่มีจุดที่มีอุณหภูมิสูงเกินไป
เซ็นเซอร์นี้สามารถควบคุมอุณหภูมิในการอบวัสดุได้ในช่วง 90°C ถึง 250°C โดยมีความแม่นยำสูง และระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด
เหตุผลที่ระบบนี้ได้ผลดีในโรงงานผลิต ในทางปฏิบัติ การอบวัสดุชนิด “soft bake” จะช่วยให้สมบัติของฟอโตรีซิสเต้อ์คงที่ในทุกครั้งที่อบวัสดุ ส่วนการอบวัสดุชนิด “hard bake” จะช่วยให้สมบัติของวัสดุคงที่ ไม่มีการเปลี่ยนแปลงมากเกินไป ด้วยเหตุนี้ คุณภาพของวัสดุที่อบได้จึงดีขึ้น เพราะอุณหภูมิที่ใช้ในการอบวัสดุมีความสม่ำเสมอ
คุณจะต้องทดสอบวัสดุน้อยลง ลดของเสีย และลดเวลาในการอบวัสดุลงได้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะอุณหภูมิที่ใช้ในการอบวัสดุถูกปรับให้เหมาะสมกับส่วนประกอบของฟอโตรีซิสเต้อ์ ไม่ใช่การคาดเดา
สิ่งที่คุณควรรู้จริงๆ การติดตั้งเซ็นเซอร์นี้ต้องคำนึงถึงรูปร่างของแผ่นอบวัสดุและค่าการแผ่รังสีของวัสดุด้วย เรามีชุดอุปกรณ์สำหรับการปรับเทียบเซ็นเซอร์ และรายการตรวจสอบการทำงานภายใน 30 นาที
คุณอาจเห็นว่าเวลาในการตั้งค่าเซ็นเซอร์นั้นมากขึ้นเล็กน้อย แต่เมื่อตั้งค่าเสร็จแล้ว กระบวนการอบวัสดุก็จะดำเนินไปได้อย่างราบรื่น
เพื่อให้ได้ความเสถียรสูงสุด ควรรักษาให้บริเวณเซ็นเซอร์ปราศจากสิ่งสกปรก และตรวจสอบความสะอาดของเซ็นเซอร์ในช่วงการบำรุงรักษาด้วย