หลอดไฟสำหรับขจัดความชื้นในแผ่นเวเฟอร์
บนพื้นผิวของแผ่นวีเซอร์ ความชื้นที่ติดอยู่ไม่ว่าจะอยู่ในสารโฟโตเรซิสต์หรือบนพื้นผิวของแผ่นวีเซอร์เอง...
หลอดไฟสำหรับขจัดความชื้นในแผ่นเวเฟอร์
เมื่อวัตถุดิบออกมาจากขั้นตอนล้างน้ำ นาฬิกาก็เริ่มทำงานทันที ความชื้นที่ยังคงหลงเหลืออยู่จะส่งผลให้เกิดปัญหาต่างๆ เช่น การเกิดจุดขัดขวางบนพื้นผิว...