ทำไมค่า 0.1°C นั้นถึงมีความสำคัญในกระบวนการออกซิเดชันของวัสดุวีเวอร์ กระบวนการออกซิเดชันของวัสดุวีเวอร์เป็นกระบวนการที่ไม่สามารถลดรายละเอียดได้เลย...

บนพื้นผิวของแผ่นวีเซอร์ ความชื้นที่ติดอยู่ไม่ว่าจะอยู่ในสารโฟโตเรซิสต์หรือบนพื้นผิวของแผ่นวีเซอร์เอง...