เมื่อวัตถุดิบออกมาจากขั้นตอนล้างน้ำ นาฬิกาก็เริ่มทำงานทันที ความชื้นที่ยังคงหลงเหลืออยู่จะส่งผลให้เกิดปัญหาต่างๆ เช่น การเกิดจุดขัดขวางบนพื้นผิว หรือทำให้อัตราการผลิตลดลง ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีขั้นตอนในการกำจัดความชื้นอย่างรวดเร็ว โดยไม่ส่งผลกระทบต่ออุณหภูมิหรือสร้างอนุภาคใหม่ขึ้นมา
สิ่งที่สำคัญภายในโครงสร้าง
เราได้ออกแบบหลอดไฟสำหรับกำจัดความชื้นโดยใช้แสงอินฟราเรดคลื่นสั้นภายในฝาครอบควอตซ์ โดยมีการออกแบบโครงสร้างของกระจกสะท้อนแสงเพื่อให้ความร้อนกระจายตัวไปยังพื้นผิวของวัสดุ ไม่ใช่ไปที่ตัวนำความร้อน ด้วยวิธีนี้ อุณหภูมิในบริเวณที่ได้รับแสงจะอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ ทั้งในช่วงการอบอ่อนและการอบแข็ง นอกจากนี้ หลอดไฟนี้ยังเหมาะสำหรับการใช้งานในห้องปลอดฝุ่นด้วย เพราะมีโครงสร้างที่ป้องกันการปล่อยก๊าซออกมา และมีอนุภาคที่อยู่ในระดับที่ควบคุมได้ ความแม่นยำของอุณหภูมิอยู่ในช่วง 1% ตลอดหลายพันรอบการทำงาน และระบบสามารถตอบสนองต่อการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว เพื่อให้ขนาดของวัสดุคงที่
เหตุใดจึงมีความสำคัญในกระบวนการลิโทกราฟี
ในกระบวนการลิโทกราฟี หลอดไฟนี้จะช่วยกำจัดความชื้นบนพื้นผิวก่อนที่จะมีการเคลือบวัสดุ ซึ่งช่วยหลีกเลี่ยงปัญหาต่างๆ เช่น การเกิดน้ำค้างบนพื้นผิว หรือปัญหาอื่นๆ นอกจากนี้ หลอดไฟนี้ยังช่วยให้อุณหภูมิคงที่ในแต่ละจุดตลอดการทำงาน ดังนั้น จึงช่วยลดเวลาในการทดสอบ ลดการต้องแก้ไขผลิตภัณฑ์ และช่วยประหยัดพลังงาน เพราะหลอดไฟจะทำความร้อนเฉพาะบริเวณที่ต้องการเท่านั้น ความน่าเชื่อถือของหลอดไฟนี้สามารถตรวจสอบได้จากเวลาการทำงาน โดยหน่วยงานสามารถทำงานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของประสิทธิภาพน้อยกว่า 5% และยังสามารถขยายช่วงเวลาการบำรุงรักษาได้โดยไม่เพิ่มความเสี่ยง
สิ่งที่ต้องระวัง
หลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้กับอินเทอร์เฟซมาตรฐาน SEMI แต่ยังจำเป็นต้องให้ความสำคัญกับเรื่องการจัดการความร้อนและการระบายอากาศด้วย ฝาครอบควอตซ์ไม่สามารถทนต่อแรงกระแทกได้ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการจัดการการติดตั้งหลอดไฟตามมาตรฐานที่กำหนด นอกจากนี้ ยังจำเป็นต้องใช้สายไฟและสายสัญญาณที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานในห้องปลอดฝุ่น และต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าก๊าซที่ใช้ในกระบวนการผลิตตรงกับรายการวัสดุที่กำหนดไว้ด้วย