บนพื้นผิวของแผ่นวีเซอร์ ความชื้นที่ติดอยู่ไม่ว่าจะอยู่ในสารโฟโตเรซิสต์หรือบนพื้นผิวของแผ่นวีเซอร์เอง ก็จะสร้างความเสียหายให้กับขนาดที่สำคัญของแผ่นวีเซอร์หลังจากการถ่ายภาพ หากไม่กำจัดความชื้นเหล่านี้ออกไป ก็จะเกิดคราบสกปรกและสารตกค้างจากการขัดถู ซึ่งอาจทำให้แผ่นวีเซอร์ทั้งชุดเสียหายได้ นั่นคือเหตุผลที่เราใช้เครื่องอบแห้งเพื่อกำจัดความชื้นออกจากแผ่นวีเซอร์ เพื่อให้แน่ใจว่าแผ่นวีเซอร์มีความสม่ำเสมอทางอุณหภูมิ
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง เราออกแบบเครื่องนี้ให้มีการตอบสนองทางอุณหภูมิที่รวดเร็วและแม่นยำ ธาตุฮาโลเจนช่วยให้เกิดแสงความเข้มสูงในย่านคลื่นสั้น ทำให้พื้นผิวของแผ่นวีเซอร์ร้อนขึ้นอย่างรวดเร็ว ส่วนฉนวนควอตซ์ก็ช่วยรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ได้ ผลลัพธ์คือความสม่ำเสมอทางอุณหภูมิของแผ่นวีเซอร์อยู่ในช่วง ±0.1°C ซึ่งช่วยให้การอบแห้งเป็นไปอย่างแม่นยำ นอกจากนี้ ระบบควบคุมอุณหภูมิยังมีความแม่นยำสูงพอที่จะปกป้องสารโฟโตเรซิสต์จากความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ และยังช่วยให้การอบแห้งเกิดขึ้นอย่างรวดเร็วโดยไม่มีความเสียหาย
เหตุผลที่เหมาะสมสำหรับกระบวนการลิโธกราฟี ในกระบวนการลิโธกราฟี จำเป็นต้องให้แผ่นวีเซอร์แห้งและมีความสม่ำเสมอทางอุณหภูมิก่อนการถ่ายภาพ และต้องมีการอบแห้งอย่างสม่ำเสมอหลังจากนั้น เครื่องนี้ช่วยให้พื้นผิวของแผ่นวีเซอร์แห้งอย่างรวดเร็ว และยังช่วยรักษาอุณหภูมิให้คงที่ระหว่างการอบแห้ง ความสม่ำเสมอนี้ช่วยลดการทำงานซ้ำ และช่วยให้จำนวนอนุภาคในห้องที่มีมาตรฐาน Class 1–100 อยู่ในเกณฑ์ที่เหมาะสม นอกจากนี้ ยังช่วยให้สามารถควบคุมค่า CD ได้อย่างแม่นยำผ่านการขัดถู นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ยังอยู่ในระดับที่เหมาะสม เนื่องจากเครื่องสามารถเข้าสู่อุณหภูมิที่ต้องการได้อย่างรวดเร็ว ทำให้มีความร้อนส่วนเกินน้อยลง และไม่จำเป็นต้องใช้พลังงานในการระบายความร้อนมากนัก
รายละเอียดการใช้งาน การติดตั้งเครื่องนี้ทำได้ง่าย แต่ยังจำเป็นต้องปรับการจัดวางและระยะโฟกัสให้เหมาะสมกับกระบวนการผลิต ความเข้มของแสงจะเปลี่ยนแปลงไปตามระยะทาง ดังนั้นจึงจำเป็นต้องปรับเครื่องให้เสร็จสมบูรณ์ก่อนการใช้งาน หลังจากการบำรุงรักษาหรือเปลี่ยนหลอดไฟ จะมีช่วงเวลาสั้นๆ สำหรับการปรับอุณหภูมิให้เสร็จสมบูรณ์ ควรวางแผนเริ่มกระบวนการผลิตในช่วงเวลานั้น เมื่อปรับเครื่องให้เหมาะสมแล้ว เครื่องนี้จะสามารถกำจัดความชื้นและอบแห้งแผ่นวีเซอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพและสม่ำเสมอทุกวัน