ลองนึกถึงเตาอบแบบการแผ่ความร้อนแบบปกติดูสิ มันจะทำให้ทุกสิ่งร้อนขึ้น ไม่ว่าจะเป็นอากาศ ชั้นวางชิ้นงาน หรือแม้แต่ผนังด้านนอกของเตาอบ...

บทนำ เราสร้างอุปกรณ์ให้ความร้อนแบบอินฟราเรดชนิดนี้ขึ้นมาด้วยเหตุผลง่ายๆ ก็คือ...

ในโรงงานผลิตชิป การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิขณะอบฟอโตรีซิสต์เพียง 0.5°C ก็สามารถทำให้ความกว้างของเส้นขอบเปลี่ยนไปได้ถึงระดับนาโนเมตร...

ออกที่พื้นโรงงาน คุณจะเข้าใจกระบวนการดี: การลอยตัวของอุณหภูมิ 0.3°C ระหว่างการอบโฟโตรีซิสต์เพียงพอที่จะทำให้ต้องทิ้งล็อตทั้งหมด หลอดอินฟราเรดรุ่น...